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更新時(shí)間：2025-04-17 21:00:08

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天仁微納

產(chǎn)品簡(jiǎn)介詳細(xì)介紹

GL MegaClean單片式兆聲波清洗設(shè)備基材尺寸大300mm直徑以下圓片清洗；單片掃描式毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗。

GL MegaClean單片式兆聲波清洗設(shè)備主要用于晶圓清洗等工藝。

GL MegaClean單片式兆聲波清洗設(shè)備主要功能

●基材尺寸大300mm直徑以下圓片清洗

●單片掃描式毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗

●適用于清洗納米壓印基材表面

●適用于母模具表面無(wú)損清洗（兆聲波清洗）

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