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無(wú)線溫度記錄器微型無(wú)線溫度記錄器
產(chǎn)品概述
光刻系統(tǒng)是制造芯片的核心裝備，其中溫度的檢測(cè)尤為重要，溫度會(huì)影響光刻膠流動(dòng)，從而影響光刻的成品率。微型無(wú)線溫度記錄器體積微小，重量輕，攜帶方便。適用于曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等的溫度檢測(cè)記錄。
微型無(wú)線溫度記錄器產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 體積微小、靈活通用；
2. 溫度準(zhǔn)確度小于10mK；
3. 采用無(wú)線通訊方式，響應(yīng)時(shí)間短，可連續(xù)工作時(shí)間超過(guò)10天。
微型無(wú)線溫度記錄器主要參數(shù)
產(chǎn)品尺寸 | 長(zhǎng)20mm×寬20mm×厚10mm |
溫度范圍 | 0℃ ~ 40℃ |
溫度準(zhǔn)確度 | ＜10mK（3σ） |
重復(fù)測(cè)量準(zhǔn)確度 | ＜5mK（3σ） |
傳感器響應(yīng)時(shí)間 | ≤1s |
采集頻率 | Max.1Hz |
連續(xù)工作時(shí)間 | ≥10days |
通訊方式 | Wifi |
保修期 | 1年 |
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