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產(chǎn)地類別	進口	價格區(qū)間	面議
儀器原理	其他原理	儀器種類	在線式
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣

半導(dǎo)體氣體分析儀OPTI-Sense系列傳感器建立在非色散紅外測量法基礎(chǔ)上，能夠精確測量半導(dǎo)體應(yīng)用中產(chǎn)生的特種氣體的紅外光譜吸收。該儀器設(shè)計緊湊，且無移動部件，適合在半導(dǎo)體工業(yè)流程中用于連續(xù)的...

內(nèi)置的診斷系統(tǒng)包含在軟件當(dāng)中。全部OPTI-Sense系列傳感器都配有模擬和數(shù)字交互，使得它們可以簡單的整合進任何工業(yè)流程。

半導(dǎo)體氣體分析儀支持的氣體

SiF4

CF4

SiF3

SF6

NF3

CO2

WF6

和其他氣體

半導(dǎo)體氣體分析儀規(guī)格參數(shù)

測量原理：非色散紫外吸收法

應(yīng)用：現(xiàn)場測量

光源：脈沖紅外發(fā)射器

材料：抗腐蝕的光學(xué)元件,

不銹鋼接觸液體的部件

尺寸 (高x寬x長) ：5.00" x 8.75" x 3.25" (包含光源和探測器)

重量：< 5 lbs

模擬輸出：出廠設(shè)置為 0 – 1, 5, 或 10 volt

數(shù)字交互：RS-232 C和可選的GUI交互

響應(yīng)時間：< 10秒

電源：15 VDC – 小于 10 瓦特 (可選AC 電源)

采樣端口：KF16 – 304 SS (可選其他選項)

校零：支持遠程校零

漏氣測試：真空密封測試

軟件：嵌入 (標(biāo)準) - Labview GUI 交互(可選)

認證：CE

保修：1 年

半導(dǎo)體氣體分析儀特征

NDIR 非色散紅外測量法

適用于任何吸收紅外光的氣體

響應(yīng)時間快

高敏感度

氣體特異性

無耗材

無移動部件

GUI LabView軟件(可選)

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