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| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,包装/造纸/印刷,电气 |
快速退火炉（RTP/RTA）是半导体材料和器件常用的一款工艺设备?？焖偻嘶鹇梢栽谡婵铡⒍栊云?、不同的工艺气体环境下使用。VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合12英寸晶圆或300mm x 300mm大尺寸样品的热处理。
产品简介
详细介绍
VPO-300快速退火炉
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合12英寸晶圆或300mm x 300mm大尺寸样品的热处理。
仪器特点：
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空环境使用；
- 加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm x 156mm电池片，300mm x 300mm电池片等；
仪器特点：
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空环境使用；
- 加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm x 156mm电池片，300mm x 300mm电池片等；
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