电子抗蚀剂（Electron resist）是用于电子束曝光的一种抗蚀剂，属于高分子聚合物，其性能类似于光学曝光中的光致抗蚀剂，即辐照可使其产生化学或物理变化而形成图形。有正性电子抗蚀剂和负性电子抗蚀剂之分。一般，负性电子抗蚀剂的曝光灵敏度比正性电子抗蚀剂的要高得多，但正性电子抗蚀剂的分辨率要高于负性电子抗蚀剂。

三联测控MSDR-SH型在线式自动电子抗蚀剂浓度检测仪是采用临界角折光原理开发的一款在线式、高精度、维护量少的浓度测量仪器。适用于管道安装或罐体壁处的安装，以及其它等多种安装方式。传感器采用用*的光学器件，一体式设计，光电信号直接转换处理，具备高精度的自动温度补偿功能，具有操作简单方便、维护量少、工作可靠等特点。浓度检测值可现场显示，亦可通过4-20mA模拟信号或RS485通讯信号连接PLC与DCS，方便进行自动化控制调节浓度，有效避免人工测量不及时导致浓度出现偏高或偏低的情况；亦可根据客户需求定制系统性解决方案，通过控制单元来实现对执行元器件的动作。可视化、智能化，实时的浓度监测和控制，可显著提高产品品质，提升工作效率，提高企业管理水平和生产工艺控制能力。

MSDR-SH型在线式自动电子抗蚀剂浓度检测仪主要技术参数：

1、出厂校准和自动温度补偿，直接投入使用，无需现场校准

2、测量范围：0.0-51.0%；  折射率1.33300-1.46500    

3、分辨率：浓度 0.1%； 折射率0.00001nD； 温度 0.1℃

4、测量精度：浓度±0.1%；折射率±0.00002nD；温度±0.5℃

5、温度补偿：5-60℃   环境温度：-20.0-60.0℃

6、防护等级：测量部分IP67    耐压：≤1.0MPa

7、测量时间：默认 5 秒测量1次（可设置）    

8、安装方式：螺纹，法兰盘，卡盘等。支持定制。

9、输出： 模拟输出：24V 4-20mA 对应浓度 0.0-51.0%

10、数字输出：RS485（可定制其他输出方式）

11、输入：DC +24V±10%    电流<100mA

12、选购件：自动清洗装置，采用压缩空气或高压水及超声波自动清洗棱镜表面，适用于较脏的液体，防止污垢附着，确保测量精度