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貨物所在地:湖北武漢市
所在地: 武漢市東湖高新區(qū)華工科技園創(chuàng)智
更新時間:2025-06-02 21:00:07
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一、概述
SE-m是一款針對半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量的專用型光譜橢偏儀,其采用行業(yè)較新橢偏創(chuàng)新技術(shù),自主獨立研發(fā)出
1、超小微光斑探測測量技術(shù)
2、定制超快測量速度等技術(shù)。
可應(yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測量,適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。
二、特色功能
1、可定制光斑尺寸,最小可達30um;
2、超快測量,單次測量時間小于0.5秒 ;
3、系列配置靈活,支持功能定制設(shè)計;
4、光譜橢偏儀結(jié)構(gòu)緊湊,更適應(yīng)在線集成測量。
三、測量實例
四、應(yīng)用場景
應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測量,適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測應(yīng)用。