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光譜橢偏儀
  • 光譜橢偏儀

貨物所在地:湖北武漢市

地: 武漢市東湖高新區(qū)華工科技園創(chuàng)智

更新時間:2025-06-02 21:00:07

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SE-m穆勒矩陣光譜橢偏儀是一款針對半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量的專用型光譜橢偏儀,其采用行業(yè)較新橢偏創(chuàng)新技術(shù),自主獨立研發(fā)出
1、超小微光斑探測測量技術(shù)
2、定制超快測量速度等技術(shù)。
可應(yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測量,適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。

一、概述

SE-m是一款針對半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量的專用型光譜橢偏儀,其采用行業(yè)較新橢偏創(chuàng)新技術(shù),自主獨立研發(fā)出

1、超小微光斑探測測量技術(shù)

2、定制超快測量速度等技術(shù)。

可應(yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測量,適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。

二、特色功能

1、可定制光斑尺寸,最小可達30um;

2、超快測量,單次測量時間小于0.5秒 ;

3、系列配置靈活,支持功能定制設(shè)計;

4、光譜橢偏儀結(jié)構(gòu)緊湊,更適應(yīng)在線集成測量。


三、測量實例

SE-VF光譜橢偏儀介紹1.jpg

四、應(yīng)用場景 

應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測量,適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測應(yīng)用。

 

SE-VF光譜橢偏儀介紹2.png

 

 

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