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蔡司雙束電鏡 Crossbeam 550 Samplefab

[產(chǎn)品簡介]

蔡司雙束電鏡 Crossbeam 550 Samplefab，作為一款專為半導(dǎo)體行業(yè)TEM樣品制備開發(fā)的聚焦離子束掃描電子顯微鏡（FIB-SEM），提供優(yōu)異的靈活性、自動(dòng)化功能和用戶友好設(shè)計(jì)，幫助半導(dǎo)體行業(yè)的樣品制備更加簡便高效。

[產(chǎn)品特點(diǎn)]

l  行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)軟件界面

l  優(yōu)化配置提升設(shè)備和軟件穩(wěn)定性

l  全自動(dòng)TEM樣品制備體驗(yàn)

l  原位（in-situ, lift-out）與非原位（ex-situ, pick-up）靈活可用

l  高質(zhì)量的自動(dòng)與手動(dòng)制樣

[應(yīng)用領(lǐng)域]

電子和半導(dǎo)體行業(yè)，失效分析及TEM樣品制備。

【應(yīng)用案例】

分別使用全自動(dòng)非原位（ex-situ, pick-up）與原位（in-situ, lift-out）制樣的 TEM 薄片樣品

手動(dòng)最終減薄的 7nm 工藝處理器，平面 TEM 薄片

使用 Crossbeam 內(nèi) STEM 探測器拍攝