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| 產(chǎn)地類別 | 進口 |
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NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm，可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據(jù)SEMI標準。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
原裝日本黑田精工KURODA表面形狀測量系統(tǒng)
表面輪廓測量是一款高精度的大型綜合測量儀器，包括粗糙度測量系統(tǒng)、直接輪廓測量系統(tǒng)和形狀測量系統(tǒng)。它可以測量和評估粗糙度和直接輪廓參數(shù)，還可以測量角度、圓弧半徑、相互位置等形狀參數(shù)。
特點
根據(jù)表面和背面同步檢測得到的放射狀測量結(jié)果，提供符合客戶需求的分析軟件。
原裝日本黑田精工KURODA表面形狀測量系統(tǒng)
性能、規(guī)格
| 項目 | NANOMETRO®300TT | NANOMETRO®200TT |
|---|---|---|
| 量程 | φ300mm | φ200mm |
| 顯示分辨率 | 1nm | |
| 測頭 | 非接觸激光位移計 | |
| 測量方式 | 縱向旋轉(zhuǎn)方式 | |
具體內(nèi)容詳見：日本黑田精工KURODA表面形狀測量系統(tǒng)