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1.緊湊的結構
2.輕巧的質量
3.高等院校/研究所/工業(yè)用戶實驗室使用
4.大可用于6英寸以內樣品測試
5.精密絲杠傳動結構，線性移動
6.無回程差設計
7.50微米以上電極/PAD測試
8.VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試
9.VCSEL/LD/LED/PD-LIV特性測試
產品簡介
詳細介紹
緊湊型晶圓測試探針臺
- 緊湊的結構
- 輕巧的質量
- 高等院校/研究所/工業(yè)用戶實驗室使用
- 大可用于6英寸以內樣品測試
- 精密絲杠傳動結構，線性移動
- 無回程差設計
- 50微米以上電極/PAD測試
- VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試
- VCSEL/LD/LED/PD-LIV特性測試
?主要技術指標
型號 | LS-WPS100 | LS-WPS150S | LS-WPS150 | ||
外形 | 400mm長* 400mm寬* 550mm高 | 400mm長* 400mm寬* 550mm高 | 680mm長* 530mm寬* mm高 | ||
重量 | 約30公斤 | 約35公斤 | 約45公斤 | ||
電力需求 | 220VC, 50~60Hz | ||||
樣品臺 | 尺寸 | 4英寸，可360°旋轉 | 6英寸，可360°旋轉 | 6英寸，可360°旋轉 | |
X-Y行程 | 4*4英寸 | 4*4英寸 | 6*6英寸 | ||
移動精度 | 10um | ||||
樣品固定方式 | 真空吸附 | ||||
背電極測試功能 | 有，樣品臺電學獨立懸空 | ||||
針座平臺 | U型平臺，多可放置6個小型針座 | U型平臺，多可放置8個小型針座 | |||
光學特性 | 顯微鏡行程 | 可360度旋轉，Z軸：50.8mm | |||
放大倍數 | 16~100X （200X可選） | ||||
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字） | ||||
點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
機械精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||||
漏電精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱時） | ||||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 | ||||
應用方向 | VCSEL芯片及LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。 | ||||