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在線晶圓測(cè)量機(jī)

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  • 型號(hào) VCSEL-LIV-NF-FF
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 深圳市
在線詢(xún)價(jià) 收藏產(chǎn)品

更新時(shí)間:2020-01-06 11:07:34瀏覽次數(shù):1157

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產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池
VCSEL-LIV-NF-FF自動(dòng)化在線晶圓測(cè)量系統(tǒng)由萊森光學(xué)專(zhuān)門(mén)針對(duì)基于6寸 VCSEL晶圓得LIV光譜測(cè)試/NF近場(chǎng)測(cè)試/FF遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)試研發(fā)而成,特別適合晶圓線上自動(dòng)化測(cè)量。

詳細(xì)介紹

  VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直共振腔表面放射激光)技術(shù)目前在在人臉識(shí)別、3D感測(cè)、汽車(chē)自駕駛、手勢(shì)偵測(cè)和VR(虛擬現(xiàn)實(shí))/AR(增強(qiáng)現(xiàn)實(shí))/MR(混合現(xiàn)實(shí)等應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越受到關(guān)注,萊森光學(xué)®可以為客戶(hù)提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF檢測(cè)解決方案:LIV光譜/功率積分測(cè)試、NF近場(chǎng)特性測(cè)試、FF遠(yuǎn)場(chǎng)特性測(cè)試、BRDF/BTDF光學(xué)材料AR/VR特性測(cè)試、VCSEL積分球,實(shí)現(xiàn)對(duì)VCSEL單體、模組、及晶圓芯片的能量分布和均勻性測(cè)量、光譜波長(zhǎng)及功率測(cè)量、近場(chǎng)遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量等各種定制化應(yīng)用需求。  
       VCSEL-LIV-NF-FF自動(dòng)化在線晶圓測(cè)量系統(tǒng)由萊森光學(xué)專(zhuān)門(mén)針對(duì)基于6寸 VCSEL晶圓得LIV光譜測(cè)試/NF近場(chǎng)測(cè)試/FF遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)試研發(fā)而成,特別適合晶圓線上自動(dòng)化測(cè)量。

 

主要技術(shù)特點(diǎn)

滿(mǎn)足ISO/IEC標(biāo)準(zhǔn)

● 晶圓大支持6寸

● 支持脈沖和CW模式

 

 

 

 

                                                                                                                                                                 NF近場(chǎng)測(cè)試

主要技術(shù)指標(biāo)

 

項(xiàng)目

 

規(guī)格

單位

晶圓參數(shù)

晶圓尺寸

6

inch

晶圓厚度

100~3,000

μm

晶圓曲度

10

mm

芯片尺寸

150~3,000

μm

襯底尺寸

50

μm

光功率

0.1~10,000

mW

波長(zhǎng)

800~1,100

nm


 

LIV-NF-FF

LS-LIV-1000

LS-NF-2000

LS-FF-3000

測(cè)量能力

LIV和光譜功率測(cè)量

近場(chǎng)測(cè)試

遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)試

LIV,Leakage current漏電流,Ith閾值電流,Kink,中心波長(zhǎng)(λc),峰值波長(zhǎng)(λp),FWHM半高寬

光斑大小、橢圓度、發(fā)散角、功率分布等

斑發(fā)散角、能量空間分布、光斑準(zhǔn)直度、對(duì)稱(chēng)度(IEC60825-2

溫控能力

5-85℃(標(biāo)準(zhǔn)),

電流源通道選擇

取決于DUT結(jié)構(gòu),可由PXI基礎(chǔ)配置

測(cè)量方法

雙極,25W /通道,4線,CWQCW

電壓范圍

±100mV, ±300mV, ±600mV;±1V, ±3V, ±6V, ±10V, ±15V, ±30V,

電流范圍

±3.5A(≦5V), ±2.5A(≦10V), ±1A, ±100mA, ±10mA, ±1mA, ±100uA, ±10uA, ±1uA

電流脈沖寬度

>100 μs

脈沖占空比

20

光學(xué)測(cè)試模塊

帶標(biāo)定積分球和光譜儀

帶自動(dòng)對(duì)焦顯微鏡系統(tǒng)的CCD攝像頭

高速CCD攝像頭/標(biāo)準(zhǔn)板


 

 

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