半導體設備專用羅茨真空泵原理：

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續(xù)轉動時，氣體排出泵外。

半導體設備專用羅茨真空泵參數：

型號：PNK MR 9000T

額定流量（50Hz）：9000 m3/h

抽氣速率：2500 l/s

極限壓力：≤0.05 Pa

最大允許壓差：≥5x103 mbar（≥500000 Pa）

馬達頻率：50 Hz

馬達額定功率：18.5 Kw

連接口進氣口：ISO320

連接口排氣口：ISO250

轉數（50HZ）：2900 PRM

重量：1550 Kg

推薦前級泵：PNK MR 2200T/PNK SP 0630

羅茨真空泵維護和保養(yǎng)：

1.保持泵的清潔，以利于通風散熱。

2.每月至少檢查一次油質情況，當發(fā)現油質明顯變色、變稀、乳化等情況，應立即換油。

3.換油時，羅茨泵先運轉一小時，使油溫變熱變稀后，在停泵并向泵內放氣后再放油加油。加油時，潤滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他飽和蒸汽壓較高的介質，以免影響泵的極限壓力。

4.拆洗泵及泵內零件時，應使用紗布擦拭；當必須清洗時，可用丙酮或者汽油清洗，但必須注意防火安全，洗完后必須用紗布擦干后方可重新裝配。

5.當發(fā)現泵有異常聲響時，應立即停泵檢查或與供應商聯系。

羅茨真空泵是一款技術成熟的真空獲得設備，與前級真空泵（常見的有旋片真空泵， 水環(huán)真空泵， 滑閥真空泵，螺桿真空泵等）配合組成泵組后，擴展了前級真空泵在較低入口壓力下的工作范圍，可廣泛的應用于工業(yè)用途。

1.提高真空度：

按照一般經驗，在配置羅茨真空泵后，系統(tǒng)真空度可提高1個數量級，如配備兩級羅茨泵，系統(tǒng)真空度可進一步提高。

2.增大抽速：

羅茨泵的一對轉子沒有相互接觸，可高速運轉，因此幾何尺寸較小的羅茨泵也能達到較高的抽速。選擇合適的前級泵組合后，可使小抽速的前級泵實現抽除大量氣體，相比相同抽速的單一前級泵，可明顯降低能耗。