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当前位置:上海富瞻环保科技有限公司>>分析仪器>>色谱、质谱、光谱、波谱>> IONOPTIKA C60-20S 离子源系统
产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
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仪器种类 | 四极杆质谱 | 应用领域 | 医疗卫生,食品/农产品,化工,生物产业,制药/生物制药 |
虽然所有离子束都会溅射或蚀刻,但我们的一些系统的表面是专为高效和快速溅射而设计的。溅射光束有三个特点:高电流、大光斑尺寸和宽视场。这些特性的结合意味着它们可以在大面积上尽快输送大剂量的离子,以优化蚀刻速率。
简介:
C60-20S是一种高性能离子束,设计用于溅射表面,具有较小的损伤和减少的沿周溅射效应。
C60-20S在高达20 kV的电压下工作,可有效地溅射材料,且损伤较小,无需重新沉积碳。
C60是XPS、AES和SIMS的理想升级组件,可在多种材料上均匀溅射。
主要参数:
特点:
◇ 电流密度高,蚀刻速度更快;
◇ 与单原子束相比,可减少化学损伤;
◇ 不同材料和晶体取向的溅射率一致;
◇ 闸阀,便于快速维修;
◇ 源寿命长;
应用领域:
◇ 聚合物的高速、低化学损伤蚀刻;
◇ C60离子溅射的速度比单原子束(包括氩和氙)快50倍,同时 对底层材料造成的损害要小得多;
◇ 下图比较了15kevC60溅射产率与15kev金、氙镓和氩的TRIM数据。在相反例子中,用C60和单原子氩离子束溅射清洗PTFE薄膜;
◇ 虽然两种离子束都去除了表面污染,但只有C60离子束的表 面化学性质没有发生变化;
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