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IONOPTIKA C60-20S 离子源系统

参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌IONOPTIKA

厂商性质生产商

所  在  地上海市

更新时间:2024-11-05 12:34:56浏览次数:206次

联系我时,请告知来自 化工仪器网
产地类别 进口 价格区间 面议
仪器种类 四极杆质谱 应用领域 医疗卫生,食品/农产品,化工,生物产业,制药/生物制药
IONOPTIKA C60-20S 离子源系统
C60-20S是一种高性能离子束,设计用于溅射表面,具有较小的损伤和减少的沿周溅射效应。
C60-20S在高达20 kV的电压下工作,可有效地溅射材料,且损伤较小,无需重新沉积碳。
C60是XPS、AES和SIMS的理想升级组件,可在多种材料上均匀溅射。

IONOPTIKA C60-20S 离子源系统


产品特点

虽然所有离子束都会溅射或蚀刻,但我们的一些系统的表面是专为高效和快速溅射而设计的。溅射光束有三个特点:高电流、大光斑尺寸和宽视场。这些特性的结合意味着它们可以在大面积上尽快输送大剂量的离子,以优化蚀刻速率。

详细介绍


简介:

C60-20S是一种高性能离子束,设计用于溅射表面,具有较小的损伤和减少的沿周溅射效应。 

C60-20S在高达20 kV的电压下工作,可有效地溅射材料,且损伤较小,无需重新沉积碳。

C60是XPS、AES和SIMS的理想升级组件,可在多种材料上均匀溅射。

主要参数:

  • 主要应用                溅射                
    光斑尺寸                100 µm                
    扫描范围                4 x 4 mm                
    能耗范围                5 – 20 kV                
    电流范围                50 nA                
    法兰至机头长度                142 mm                
    推荐工作距离                50 mm                
    电源装置                3U x 19’’ rack mountable unit    
    电源要求                110-240VAC 13A 50/60Hz                
    软件要求                        PC running Windows 10 or later                   
    集成法兰规格                NW 63 CF                

















特点:  

◇  电流密度高,蚀刻速度更快;

◇  与单原子束相比,可减少化学损伤;

◇  不同材料和晶体取向的溅射率一致;

◇  闸阀,便于快速维修;

◇  源寿命长;


应用领域: 

◇  聚合物的高速、低化学损伤蚀刻;

◇  C60离子溅射的速度比单原子束(包括氩和氙)快50倍,同时 对底层材料造成的损害要小得多;

◇  下图比较了15kevC60溅射产率与15kev金、氙镓和氩的TRIM数据。在相反例子中,用C60和单原子氩离子束溅射清洗PTFE薄膜;

◇  虽然两种离子束都去除了表面污染,但只有C60离子束的表 面化学性质没有发生变化; 

  •                


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