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| 应用领域 | 电子/电池,电气 |
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喜开理流量传感器介绍，CKD销售
电子部件的吸附确认及各种N2净化气体流量的管理。
热式流量传感器·生态流体
显示器/FSM-V-D
□30×32
可在真空中使用
(正·负压两用型)
电子部件的吸附等可用于真空中。
系列 规格 响应速度 显示器 材质 输出方式 流量范围 双方向检测 页
通过新技术的整流机构，实现了原来没有的紧凑型·高速响应。
与原来产品的体积比
优化传感器，防故障于未然。
门类·用途例子请参照下页
小型·轻量 高速响应 分离型 整体型 开关输出 模拟输出 大流量类型
输出方式备有模拟输出型及目视、
可检测开关异常的数码显示、开关输出型。
可根据用途选择
超小型·轻量 分离型 超高速响应 本体材质 开关输出 模拟输出 低流量类型 双方向检测
可在狭小的空间中或可动部位设置，
使设备小型化,轻量化。
高速响应
采用应用硅微机械加工的白金传感芯片,实现了高速响应。
超小型 高响应
在确认电子部件等吸附中发挥威力。
应用硅微机械加工的白金传感芯片
电子部件的吸附确认及各种N2净化气体流量的管理。
热式流量传感器·生态流体
FSM系列/FSM-V系列
喜开理流量传感器介绍，CKD销售
不需要直管部分
采用了新技术的整流机构，侧和下流侧
都不需要直管部分。
确认实装机的吸附确认等,及间隔时间短的装置中。
可在真空中使用(正·负压两用型)
电子部件的吸附等可用于真空中。
不需要直管部分
可选择显示器整体型和分离型
用途广泛。
流量范围
0.5、1、5、10、20、50、100 /min
在确认电子部件等吸附中发挥威力。
应用硅微机械加工的白金传感芯片
通过新技术的整流机构，实现了原来没有的紧凑型·高速响应。
采用了新技术的整流机构，侧和下流侧
都不需要直管部分。
安装姿势自由
上下左右无论哪个方向都可安装。
可进行流量管理
备有RAPIFLOW 超小型直管型过滤器
采用应用硅微机械加工的白金传感芯片,实现了高速响应。
确认实装机的吸附确认等,及间隔时间短的装置中。
与原来产品响应速度对比
弯头OK 5msec以下 50msec以下
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