1400℃三溫區(qū)真空氣氛管式爐以硅碳棒為發(fā)熱元件；雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)；高純氧化鋁纖維真空吸附一次成型；高密度硅碳棒真空擠壓成型；剛玉管外徑為60、80mm。三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制且都為PID30段程序化控溫?？赏ㄟ^調(diào)節(jié)三個(gè)溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場(chǎng)形成一溫度梯度，爐管兩端裝有不銹鋼法蘭，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3 Pa,此系列真空氣氛管式爐可以用CVD或PVD方法來生長(zhǎng)納米材料和制作各種薄膜。

 主要用途：

三溫區(qū)真空氣氛管式爐是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品. ，廣泛用于電子陶瓷產(chǎn)品的預(yù)燒、燒結(jié)、鍍膜、高溫?zé)峤獾蜏爻练e（CVD）工藝等。