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产品特点：
1. 5寸彩色触摸屏操作界面，采用45°倾斜角度设计，符合人体工程学，操作简单友好。
2. PLC自动监测控制工艺参数，参数可存储，手动、自动两种模式任意切换。
3. 舱门，流量计内凹式设计，防止不小心磕碰损坏，更大气美观。
4. 松下高精度数字真空压力表，实时检测显示舱体内真实真空度，提供论文真实数据。
5. 气体浮子流量计（可选质量流量计（MFC）），可对多种气体精准控制。
6. 不锈钢或石英真空舱体可选，舱体管路采用耐腐蚀材料。
7. 进气端口，气体返填端口均配有HEPA高效过滤器，有效过滤空气中污染颗粒及水分。
8. 真空泵配有油雾过滤器，可有效隔绝油气溢散，?；な笛榛肪场?/p>
9. 使用成本低，无需进行特殊维护，日常使用中保持仪器清洁即可。
10. 具备优良的安全?；ご胧?，射频?？槲露纫斐Ｉ呤保远乇盏缭?，保护样品，提高设备安全性和稳定性。
等离子清洗机应用领域，纳米材料学，半导体，微电子，光学，电子学，微流控生物学，石墨烯，再造医学等领域
技术参数
型号 | PC-5S | PC-5S13 | PC-5D | PC-5D13 |
射频电源 | 40KHZ | 13.56MHZ | 40KHZ | 13.56MHZ |
射频电源功率 | 0-200W | 0-150W | 0-200W | 0-150W |
匹配器 | 无 | 自动匹配 | 无 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 |
舱体容积 | 5L | 5L | 5L | 5L |
舱体尺寸 | D245mm*?155mm | D245mm*?155mm | D245mm*?155mm | D245mm*?155mm |
舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 |
载物板尺寸 | L245mm*W155mm | L245mm*W155mm | L245mm*W155mm | L245mm*W155mm |
HEPA高效过滤器 | 最小过滤0.22um | 最小过滤0.22um | 最小过滤0.22um | 最小过滤0.22um |
气体控制 | 单浮子流量计可选质量流量计（MFC） | 单浮子流量计可选质量流量计（MFC） | 双浮子流量计可选质量流量计（MFC） | 双浮子流量计可选质量流量计（MFC） |
气体压力稳定时间 | 60s | 60s | 60s | 60s |
工作时间设定 | 1秒-99分59秒可调 | 1秒-99分59秒可调 | 1秒-99分59秒可调 | 1秒-99分59秒可调 |
真空度 | 100par | 100par | 100par | 100par |
真空泵 | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h |
电源 | AC220v5060HZ | AC220v5060HZ | AC220v5060HZ | AC220v5060HZ |
产品尺寸 | L41*W38*H50cm | L41*W38*H50cm | L41*W38*H50cm | L41*W38*H50cm |
包装尺寸 | L49*W46*H58cm | L49*W46*H58cm | L49*W46*H58cm | L49*W46*H58cm |
整机净重 | 18kg | 32kg | 18kg | 32kg |
