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详细介绍
二手日本电子SEM+EDX主要特长
优秀电子光学系统 JSM-IT300A是株式会社最新升级版机型，集合了分析扫描电镜精髓功能，结构紧凑、节省空间，分辨率高。
操作舒适快捷 JSM-IT300A拥有非常直观的操作系统，即使没有经验的用户也可进行操作高品质的SEM图像，以及高效率元素分析?？芍С植僮鞔ッ?。
安装的灵活性 二手日本电子SEM+EDX节省空间，安装方便。一个电源插座就足以安装。不需要任何冷却水。
JSM-IT300A性能参数
Main Performance on JSM-IT200A
Performance (一) 主要性能 | |
SEI Mode Resolution 二次电子图像分辨率 | 3.0nm @ 30KV WD 8mm 8.0nm @ 3KV WD 6mm 15.0nm @ 1KV WD 6mm |
BEI Mode Resolution 背散射电子模式分辨率 | 4.0nm@30KV |
Magnification 放大倍数 | ×5~×300,000（底片倍率） ×14~×839,724（显示器倍率） |
Detectors 探测器 | Secondary Electron Detector 二次电子探测器 ★Semiconductor Backscattered Electron Detector(patent) 半导体型背散射电子探测器(技术) |
Image Mode 图像模式 | Secondary Electron Image 二次电子图像 REF Image REF像 Composition Image (Backscattered Electron Image) 成份像 (背散射电子图像) Topography Image (Backscattered Electron Image) 形貌像 (背散射电子图像) Shadow Image (Backscattered Electron Image) 立体像 (背散射电子图像) |
Live Image Display 实时图像显示 | Dual Live Image Display, Split Live Image, 双实时图像同时显示, 分割实时图像显示 |
Accelerating Voltage 加速电压 | 0.5KV ~ 30KV |
Probe Current 探针束流 | 1pA ~ 0.3uA |
Electron Optics (二) 电子光学系统 | |
Filament 灯丝 | Factory pre-centered tungsten hairpin filament 工厂预对中钨灯丝 |
★Gun Bias Voltage 电子枪偏压 | Seamless automatic bias 无缝式自给偏压, 连续调整 |
Gun Alignment 电子枪合轴 | Auto alignment 自动合轴 |
Filament Heating 灯丝加热 | Auto heating 自动加热 |
★Condenser Lens 聚光透镜 | Two stage zoom type condenser lens – (patent) 变焦聚光透镜系统 – 技术 |
★Objective Lens 物镜 | Super conical type objective lens 超级锥形物镜 |
Objective Lens Aperture 物镜光阑 | 1 step, Fine position adjustment in X and Y directions 1孔固定，可在X和Y方向微调 |
Focus 聚焦 | Auto/Manual focus 自动/手动聚焦 |
Stigmator 像散 | Auto/Manual stigmator 自动/手动消像散 |
★Stigmator Memory 像散存储器 | Standard, Auto/Manual 标准配置，自动/手动补偿像散 |
★Electrical Image Shift 图像移动 | X-Y , ±50um |
Specimen Stage (三) 样品台 | |
Type 样品台类型 | Eucentric type stage 全对中样品台 |
Traverse 行程 | X : 80mm; Y : 40mm; Z : 5 ~ 48mm; 倾斜 T: -10 ~ +90° 旋转 R: 360°连续endless |
Maximum Specimen Size 最大样品尺寸 | 150mm diameter & 48mm height specimen can be inserted 可装直径150mm高度为48mm的样品 |
Maximum Size of Observation 最大观察视野 | 127mm diameter 直径127mm |
Image Display (四) 图形显示 | |
Pixels 显示像素 | 640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840 |
Image Process 图像处理 | Averaging, Linear, Contrast, Gamma, Multi level, Patial enhance, Reverse, Pseudo color, Multi image 平均值, 灰度修正, 反差增强, 伪彩, 二及四分屏, 2及4倍数码变焦 |
高品质的图像
通过改进电子光学系统，使图像质量更高，分析更快。
减少了充放电现象
新的扫描方式能抑制非导电性样品的荷电效应。
低真空模式(LV)
低真空压力范围从10 Pa 至 650 Pa，拓宽了可以观察的样品材料的范围。
样品台导航系统
全自动5 轴马达驱动样品台提高了寻找感兴趣的区域（ROI）的速度。使用导航系统（选配件）在彩色图像上能迅速到达感兴趣的区域。
大型样品室和样品台。
能容纳大型、较重的样品，可装载**尺寸为200 mm（φ）× 80 mm（ H）、重达2 kg 的样品。
**几何设计的分析接口。
多个接口可以安装EDS、EBSD 和WDS 等附件， EDS 和EBSD 处于同一平面，此外，还能安装两个相隔180 度的EDS 检测器用于高通量的显微分析。
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