KLA iMicro 纳米压痕仪

KLA iMicro 纳米压痕仪产品介绍：

KLA iMicro 纳米压痕仪可轻松测量硬涂层，薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。可互换的驱动器能够提供大的动态范围的力荷载和位移，使研究人员能够对软聚合物到硬质金属和陶瓷等材料做出详尽及可重复的测试。?？榛∠钍视糜诟髦钟τ茫?strong>材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损测试以及高温测试。KLA iMicro 纳米压痕仪拥有一整套测试扩展的选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D性质分布，以及Gemini2D力荷载传感器，可以提供摩擦和其他双轴测量。

KLA iMicro 纳米压痕仪优势：

• ?？榛杓?既具有宽泛的测试功能，又可提供高通量的自动化测试功能，并配有统计数据分析包，适用于纳米力学性能测量、扫描探针显微成像、高温测量和IV电压电流特性测试实时且实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置。

• 标准的InForce1000电磁驱动器提供高达1N的驱动力。

• 集成高速控制器电子设备完成高速数据采集达100kHz，捕获材料瞬间的响应，例如锯齿流变和断裂现象。仪器使用较短的时间常数20μs，捕捉材料瞬间的真实响应。

• 集成了噪音隔离功能的高刚度框架，可确保对各种材料进行准确测量。

• 数码变焦的高分辨光学显微镜，准确定位样本。

• 纳米压痕专家在线讲授专业纳米压痕课程，以及移动应用程序能够提供测试方法的实时更新。

KLA iMicro 纳米压痕仪测量原理：

KLA iMicro 纳米压痕仪采用特定几何形状的金刚石压头以载荷准静态压入材料表面，实时记录加载-卸载过程中的载荷与压入深度变化，生成?载荷-位移曲线?，通过曲线分析结合力学模型，计算材料的纳米硬度和弹性模量等参数。

KLA iMicro 纳米压痕仪主要应用：

硬度和模量测量（OliverPharr）

机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。KLA iMicro 纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。

高速材料性质分布

对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。KLA iMicro 纳米压痕仪的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量?？裳〉腘anoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。

ISO14577硬度测试

KLA iMicro 纳米压痕仪包括预先编写的ISO14577测试方法，可测量符合ISO14577标准的材料硬度。该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。

聚合物TanDelta、储存和损失模量

KLA iMicro 纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tandelta和储存与损耗模量。储存与损耗模量以及tandelta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。

定量划痕和磨损测试

KLA iMicro 纳米压痕仪可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。涂层和薄膜会经过化学机械抛光（CMP）和引线键合等多道工艺，考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形，并且保持原样而不会基板起泡。理想地，介电材料应具有高硬度和弹性模量，因为这些参数有助于确定材料在制造工艺下会如何反应。

高温纳米压痕测试

高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能相当重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。

KLA iMicro 纳米压痕仪行业应用：

KLA iMicro 纳米压痕仪技术优势：

• 连续刚度测量（CSM）

• NanoBlitz3D快速力学性能分布

• NanoBlitz4D力学性能断层扫描

• ProbeDM高聚物测试

• AccuFil薄膜方法

• 300°C样品加热

• 国际标准化的纳米压痕测试

KLA iMicro 纳米压痕仪升级选项：

划痕和磨损测试选项

划痕和磨损测试在探针通过样品表面时对其施加恒定或渐增的纵向载荷，可用于表征薄膜、脆质陶瓷和高聚物等的多种材料。

生物软材料测试选项

生物材料测试方法利用连续刚度测试CSM表征模量在1kPa左右的生物软材料包含一个平底压头和测量软材料储存损耗模量的测试方法，

DataBurst测试选项

DataBurst模式在达100kHz的速度下触发数据采集，捕获材料瞬间的响应，例如锯齿流变和断裂现象；允许在步进荷载下测量高应变率材料的力学性能；仪器使用较短的时间常数，帮助客户捕捉材料瞬间的真实响应。

InView开放式软件编写平台

InView采用开放式软件编写平台，以帮助客户在测试过程中实现加载，测量和计算的控制。用于设计新颖或复杂的实验?？攀饺砑嘈雌教ǜ杩突Ы洗蟮牧榛钚裕喊镏突嵋撞杉疾馐允莸胶妥钪辗治鼋峁氖褂?；客户可以浏览，编辑计算公式，自定义参数，实现个性化试验设计；用户可以自由设计和改变试验参数和试验过程，为探索新的试验测试提供可能。

TrueTestI-V电学测试

TrueTestI-V选项允许用户向样品施加特定电压并测量压头的电流，以表征纳米力学测量过程中电学特性的局部变化。

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在KLA iMicro 纳米压痕仪的内置被动隔振的基础上增加主动隔振，为实现超薄薄膜等高难度纳米力学测量提供了良好的稳定性和准确度。主动隔振系统减少了所有六个自由度的振动，无需进行调整。

高精度线性光学编码器平台

线性光学编码器(LOE)选项，提高了测试过程的定位精度，用于微小结构定位。

压头探针和校准样品

InForce50、InForce1000和Gemini驱动器的可互换压头包括Berkovich、立体角、维氏，以及平底和球体压头。

KLA iMicro 纳米压痕仪测量图：