HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品介绍：

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。它是用于快速薄膜测量和器件质量控制的解决方案。专为薄膜测量设计，一键式操作实现高效率。

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品特点：

• 可在450nm~1000nm波长内实现快速测量（<1秒）

• 多种光斑尺寸软件选择

• 自动装载和调整样品高度（需自动平台）

• 大面积自动成像（需自动平台）

• 温控台、液体样品池、电化学反应池、

• 密封气体池、透过率曲线测量等多种附件

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品优势：

光斑可视系统：HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪具备MyAutoView光斑可视系统，可清晰观察光滑或粗糙的样品表面，保证用户可将测量光斑准确定位在样品目标上的测量位置。

大样品成像选项：HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪配备自动平台，方便定位测量样品上微结构的位置，可对不均匀大样品片进行mapping成像。

智能诊断：HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪仪器维护非常简单，借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品测量原理：

HORIBA Auto SE 椭偏仪是利用薄膜的光学特性进行膜厚测量的非接触测量方法?；谄窆夥瓷浠蛲干涫钡淖刺浠床饬勘∧さ暮穸群驼凵渎?。当偏振光照射到薄膜表面时，反射光或透射光的偏振状态会发生变化，这种变化依赖于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振状态和角度。通过分析这些变化，可以准确地推导出薄膜的厚度。

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪软件：

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪软件DeltaPsi2功能强大，它基于WindowsT操作系统，充分利用了HORIBA Scientific（JobinYvon光谱技术）椭偏仪硬件技术的优势，具有众多的建模和拟合处理功能，以及简单的操作界面，可为研究者提供便捷的椭偏分析手段。

• 梯度膜层

• 粗糙度或界面

• 材料组份/结晶度

• 各向异性膜层

• 薄膜厚度的不均匀性

• 退偏因子

• 与材料模型公式相关的完整的属性数据库

• 对于厚透明样品基底背景光的自动修正

• 周期变化结构

• 用户超薄薄膜应用的BLMC算法

• 多重猜测、多重初值、多重模型、相关性……

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪常见应用：

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品参数：

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪测量图：