一、艾里卡特雙向氣體質量流量控制器應用領域

• 雙向測量氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度
• 控制來自壓縮氣體或真空泵的氣體的質量流量或體積流量
• 控制流經氣體的壓力或背壓
• 控制密閉系統(tǒng)內壓力(自帶排氣)

二、艾里卡特雙向氣體質量流量控制器產品優(yōu)勢

具備ALICAT常規(guī)產品所有的優(yōu)勢，如響應時間快，操作簡單，控制精度高，重復性高等

三、產品性能

標準性能

• 多功能數字顯示屏
• 顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
• 低壓損
• 無需預熱
• Viton密封
• 8針mini-DIN電信號接口
• 標準圓形電源接口
• RS-232多點式數字信號輸入&輸出
• 0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA 多種模擬信號輸入&輸出可選
• 可調節(jié)PID算法
• 內置30種氣體可選
• 200:1 量程可調比
• NPT接頭
• 有條件的終身質保

可選性能

• 累加器
• 6針、DB9或DB15電信號接口
• ProfiBUS數字信號輸出
• RS-485數字信號輸出
• 第二種模擬信號輸出
• 遠程顯示屏
• EPDM密封
• NeSSI本體
• 氧氣清潔
• SAE接頭
• VCR, VCO接頭
• 5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
• 額外標定點
• 定制混個氣體（多4種）
• 不銹鋼閥門
• 集成式電位計控制

四、產品參數

• 可控制從-0.5 ～ +0.5 SCCM 到-3000 ～ +3000 SLPM的滿量程的任何流量，量程可調比為200：1
• 精度&重復性：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)   (注：該處F.S.為雙向滿量程之和)
• 控制響應時間：＜100毫秒
• 大入口壓力：145 psig (MCD & MCDS)、50 psig (MCDW)