Filmetrics R50系列提供接触式四点探针（4PP）和非接触式涡流（EC）测量。

R50系列电阻率测量仪

• 四点探头和涡流探测系统

• 以矩形，线性，极性和自定义配置

• X-Y行程可达200mm

• 在导体和半导体薄膜上测量方块电阻的范围较大

• 接触式和非接触式测量

电阻率测量仪标准功能

• 具有以下功能的自动X-Y平台:

    100mm x 100mm行程

    200mm x 200mm行程（-200型号）

• 100mm Z载物台行程

• 倾斜台，行程+/-5o

• 不限数量的测量样本图中的位置

RsMapper软件:

测量自动化地图模式生成器，内置的地图模式生成器使您轻松生成需要测量的斑点图案样品的相关区域，从而节省了数据采集期间的时间。

这只是您可以使用的一些参数。

进行调整以自定义地图的属性:

• 圆形或正方形地图

• 径向或矩形图案

• 中心或边缘排除

• 点密度