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| 应用领域 | 能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
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KOSAKA台阶仪ET10000薄膜测厚仪产品概述：
● 针对生产线全自动大型工件开发，可搭配机械手臂自动进退样品。
高精度．安定性．机能性适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。
● 是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。
● ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。
● ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。
● ET4300一适合12"样品测量。
台阶仪/膜厚仪ET4000系列产品参数
KOSAKA台阶仪ET10000薄膜测厚仪产品概述：
| 重现性 | 1σ 1nm |
|---|---|
| 测定范围 | Z:100um |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 测定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
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