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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
Meissner水汽捕集冷頭麥森納低溫冷阱溫度低至120K[-153°C]，水蒸氣泵速率可高達(dá)43000l/s，壓縮機(jī)皮實(shí)耐用，適用于工業(yè)生產(chǎn)中的操作和使用，而且占地面積小。高效節(jié)能的壓縮機(jī)組通常只需要500瓦的電力。冷卻溫度可低至120K[-153°C]，從而使之適用于UHV范圍。低溫使得在UHV范圍以及粗真空范圍內(nèi)的應(yīng)用成為可能。由于其易于安裝，該系統(tǒng)還適合作為真空室的附加裝置，以便快速降低水蒸氣分壓，從而實(shí)現(xiàn)更高的工藝吞吐量。此外，也適用于高度污染的真空工藝，如聚對二甲苯應(yīng)用或CVD涂層工藝。易于安裝和清潔的可能性使該系統(tǒng)成為標(biāo)準(zhǔn)真空泵（例如旋轉(zhuǎn)葉片泵、渦輪泵）以及用于多種真空工藝的低溫過濾器解決方案的理想擴(kuò)展。通過使用這些水汽捕集冷頭，工藝生產(chǎn)率可以得到提高，真空工藝泵也受到這些低溫冷阱的保護(hù)，可用于半導(dǎo)體工業(yè)中的其他工藝，例如薄膜工藝設(shè)備。
除本款設(shè)備之外，我們還有能夠兼容于標(biāo)準(zhǔn)方法、具有高性價(jià)比的同類產(chǎn)品。
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