产品简介
详细介绍
VCA-3000S 水滴角测试仪
VCA-3000S 水滴角测试仪是专为半导体晶圆加工质量控制而设计的,该系统可快速准确地对晶片表面进行接触角/表面能量分析,以评估粘附性、清洁度和涂层。
注射器机构可以提高,便于装卸,消除了晶片损坏的可能性。
虽然该系统是为晶圆表面分析而设计的,但对于任何需要大范围工作的应用来说,它也是一个有用的工具。该系统可轻松容纳尺寸高达W12“x L12"x H0.75"的样品。
VCA 3000S 采用了精密相机和先进的PC技术来捕捉液滴的静态或动态图像,并确定接触角测量的切线。手动或自动注射器可方便地分配试验液体。计算机操作消除了绘制线条时的人为错误,并捕获动态图像进行时间敏感分析。数据和图像存储在计算机中,以便日后分析或轻松传输到其他软件应用程序。
主要特征:液滴轮廓影响分析
自动接触角计算
300mm晶圆样本平台
可调角度扩散背景光源
辅助侧光源
自动注液针筒
防刮摇臂式针筒座,防止晶圆在上下片时被刮伤
样品台可水平旋转360度
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