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GB/T 34216-2017 納米氮化硅

范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了納米氮化硅的牌號(hào)、技術(shù)要求和相關(guān)試驗(yàn)方法以及產(chǎn)品的檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、貯存、運(yùn)輸和質(zhì)量證明書等要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于氣相合成法生產(chǎn)的納米氮化硅。其他方法生產(chǎn)的納米氮化硅，經(jīng)供需雙方協(xié)商后可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。

術(shù)語和定義
GB/T 19619 界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。
中值粒徑  median particle size
d ₅₀
樣品中顆粒的累計(jì)粒度分布百分?jǐn)?shù)達(dá)到50%時(shí)所對(duì)應(yīng)的粒徑。
注: d ₅₀ 的物理意義是粒徑大于它的顆粒占50%，小于它的顆粒也占50%，也叫中位徑。

產(chǎn)品牌號(hào)
牌號(hào)表示方法
納米氮化硅的牌號(hào)按圖1進(jìn)行表示。

示例
納米氮化硅產(chǎn)品的中值粒徑為30nm時(shí)，牌號(hào)表示為NF-Si₃N₄-30。
典型牌號(hào)
按顆粒的中值粒徑，納米氮化硅的牌號(hào)為NF-Si₃N₄-30。

技術(shù)要求
外觀
納米氮化硅外觀應(yīng)量白色， 無其他顏色混雜。
化學(xué)成分
納米氮化硅的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。需方對(duì)化學(xué)成分有特殊要求時(shí)，可由供需雙方另行商定。


物理性能
納米氮化硅典型牌號(hào)的物理性能應(yīng)符合表2的規(guī)定。


其他性能
納米氮化硅具有熱穩(wěn)定性高、抗氧化能力強(qiáng)等優(yōu)良性能，可在發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、微電子和核動(dòng)力工程等領(lǐng)域應(yīng)用。需方對(duì)產(chǎn)品有特殊要求時(shí)，可經(jīng)供需雙方協(xié)商確定并在技術(shù)合同中注明。

試驗(yàn)方法
化學(xué)成分
納米氮化硅中部分化學(xué)元素的含量分析方法按表3中列出的方法執(zhí)行或供需雙方協(xié)商確定。


分析方法
氯離子     GB/T 3050
GB/T 3050-2000 無機(jī)化工產(chǎn)品中氯化物含量測定的通用方法 電位滴定法


京都電子KEM 自動(dòng)電位滴定儀AT-710S