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更新時(shí)間:2024-07-10 08:17:12瀏覽次數(shù):3360評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池 |
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激光掃描系統(tǒng)
MPDPro設(shè)計(jì)用于對(duì)電特性進(jìn)行分析,在四分鐘的測(cè)量時(shí)間內(nèi),對(duì)1毫米分辨率,500毫米磚磚(或晶片)自動(dòng)掃描。進(jìn)行非接觸測(cè)量。
MDPpro系列具有快速、靈活,自動(dòng)掃描多晶硅磚和晶片的穩(wěn)固設(shè)計(jì)。同時(shí)測(cè)量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度,所有測(cè)量圖形同時(shí)繪制。這個(gè)儀器的設(shè)置非常簡(jiǎn)單,僅需要電源。測(cè)量必要性包括了工作站與數(shù)據(jù)庫(kù)。樣品裝載可以手動(dòng)或由自動(dòng)系統(tǒng)來完成。在1mm分辨率下,156x 156 x 400 mm標(biāo)準(zhǔn)磚的測(cè)量速度小于4分鐘。電阻率自動(dòng)掃描選項(xiàng)具有長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性而無需頻繁重新校準(zhǔn)。用于參考測(cè)量的校準(zhǔn)庫(kù)也是可用的。由于偏析和預(yù)期摻雜類型的過補(bǔ)償導(dǎo)致的導(dǎo)電類型轉(zhuǎn)換的空間分辨測(cè)量可以以高空間分辨率來研究。
該儀器被設(shè)計(jì)用于工藝和材料的質(zhì)量監(jiān)控,例如單晶或多晶硅。多晶硅磚切割標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)輸出。能夠根據(jù)爐子的輸出質(zhì)量進(jìn)行單獨(dú)的爐子監(jiān)控進(jìn)行優(yōu)化和決定投資。MDPpro是多晶硅磚生產(chǎn)商以及爐子技術(shù)生產(chǎn)商的標(biāo)準(zhǔn)儀器。
優(yōu)勢(shì)
脫機(jī)或晶圓的整體工具系列。少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率、p/n導(dǎo)電類型變化和幾何樣品平整度的同時(shí)自動(dòng)掃描。
對(duì)于156x 156 x 400 mm標(biāo)準(zhǔn)磚,測(cè)量速度小于4分鐘,分辨率為1mm,所有5幅測(cè)量圖形同時(shí)繪制。
堅(jiān)固耐用的設(shè)計(jì)和易于設(shè)置的性能。對(duì)于安裝,僅需要電源。帶有數(shù)據(jù)庫(kù)的工作站包含在下面的隔間中。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)