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维特锐集团股份有限公司上海分公司

主营产品: KRACHT流量计,KRACHT齿轮流量计,VSE流量计,meister流量开关,麦斯特流量计

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  • 型号
  • 品牌 HYDAC/德国贺德克
  • 厂商性质 经销商
  • 所在地 上海市

更新时间:2024-11-20 10:02:51浏览次数:788

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!

【简单介绍】
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还有HDA3845,3844,3846的升级到HDA 4845   4846  4844 请大家注意下!

 

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压力传感器的分为四个阶段:
1发明阶段(1945-1960年)
这个阶段主要是以1947年双极性晶体管的发明为标志。此后,半导体材料的这一特性得到较广泛应用。史密斯(C.S.Smith)与1945发现了硅与锗的压阻效应,即当有外力作用于半导体材料时,其电阻将明显发生变化。依据此原理制成的压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上,即将力信号转化为电信号进行测量。此阶段zui小尺寸大约为1cm。
2发展阶段(1960-1970年)
随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001)或(110)晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯。这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点,实现了金属-硅共晶体,为商业化发展提供了可能。
3商业化阶段(1970-1980年)
在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术,主要有V形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。由于可以在多个表面同时进行腐蚀,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式,成本进一步降低。
4微机械加工阶段(1980年-)
上世纪末出现的纳米技术,使得微机械加工工艺成为可能。通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力传感器,其线度可以控制在微米级范围内。利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜,使得压力传感器进入了微米阶段。

 

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