賽默飛X射線熒光光譜儀主要包括光源、激發(fā)單色器、樣品池、熒光單色器及檢測(cè)器等主要部件。

　　1．光源

　　早期的熒光分光光度計(jì)，配有能發(fā)生很窄汞線的低壓汞燈。使用高壓汞燈，譜線被加寬，而且也存在高強(qiáng)度的連續(xù)帶。然而，一個(gè)完整的激發(fā)光譜的測(cè)定需一種能發(fā)射從可見到紫外范圍的較高強(qiáng)度的光輻射的燈。氙弧燈能適于此條件，因此，它是目前在熒光分光光度計(jì)中廣泛使用的光源。

　　2．單色器

　　單色器的作用是把光源發(fā)出的連續(xù)光譜分解成單色光，并能準(zhǔn)確方便地“取出”所需要的某一波長(zhǎng)的光，它是光譜儀的心臟部分。單色器主要由狹縫、色散元件和透鏡系統(tǒng)組成，其中色散元件是關(guān)鍵部件。色散元件是棱鏡和反射光柵或兩者的組合，它能將連續(xù)光譜色散成為單色光。

　　（1）棱鏡單色器

　　棱鏡單色器是利用不同波長(zhǎng)的光在棱鏡內(nèi)折射率不同將復(fù)合光色散為單色光的。棱鏡色散作用的大小與棱鏡制作材料及幾何形狀有關(guān)。常用的棱鏡用玻璃或石英制成?？梢姺止夤舛扔?jì)可以采用玻，它適用于紫外、可見整個(gè)光譜區(qū)。

　?。?）光柵單色器

　　光柵作為色散元件具有不少*的優(yōu)點(diǎn)。光柵可定義為一系列等寬、等距離的平行狹縫。光柵的色散原理是以光的衍射現(xiàn)象和干涉現(xiàn)象為基礎(chǔ)的。常用的光柵單色器為反射光柵單色器，它又分為平面反射光柵和凹面反射光柵兩種，其中常用的是平面反射光柵。光柵單色器的分辨率比棱鏡單色器分辨率高（可達(dá)±0.2nm），而且它可用的波長(zhǎng)范圍也比棱鏡單色器寬，且入射光80%的能量在一級(jí)光譜中。近年來，光柵的刻制復(fù)制技術(shù)也在不斷地改進(jìn)，其質(zhì)量也在不斷的提高，因而其應(yīng)用日益廣泛。