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勻膠機 勻膠機

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具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 CEE-200X
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2015-12-24 10:43:44瀏覽次數(shù):934

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產(chǎn)品簡介

勻膠機 勻膠機擁有30年的勻膠設備制造歷史,熱板的0.3%的溫度均勻性,和勻膠轉(zhuǎn)速小于0.2rpm轉(zhuǎn)速精度及可重復性是業(yè)內(nèi)*的標準。擁有多項行業(yè)內(nèi)和標準,通過不斷把的技術融入設備中,將繼續(xù)成為半導體下一代工藝的*者。

詳細介紹

 

  
型號 CEE-200X勻膠機 勻膠機北京 
圖片 299×314 
簡介 

勻膠機 勻膠機擁有30年的勻膠設備制造歷史,熱板的0.3%的溫度均勻性,和勻膠轉(zhuǎn)速小于0.2rpm轉(zhuǎn)速精度及可重復性是業(yè)內(nèi)的標準。擁有多項行業(yè)內(nèi)和標準,通過不斷把的技術融入設備中,將繼續(xù)成為半導體下一代工藝的者。


型勻膠機
  的內(nèi)部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。

   PC控制系統(tǒng),更好的兼容性可無限可變編程設計。

   7“控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

  on ®/polyethylene ‘密閉碗’設計可適合各種材料勻膠工藝。

  標準配置轉(zhuǎn)速12000rpm,16000rpm可選             
  

主要構造 
  采用無刷伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。
   機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、*生銹,便于清洗。
   排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
   透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋(丙烯酸材質(zhì)),可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢
     出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

主要性能指標:
  主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)
  旋涂程序:無限可變,每個步驟可精確到0.1秒
  轉(zhuǎn)動速度:0-12,000rpm(16,000rpm可選)
   旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載)
   馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%
   轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<0.2rpm,重復性< 0.2rpm
   工藝時間設定: 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
   支持wafer尺寸1cm-200mm
   旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
   設備尺寸  13.25” (33.65 cm) W × 19” (48.26 cm) D × 12” (30.48 cm) H

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