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目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>> 雙溫區(qū)開啟式真空管式爐 (管徑80mm, 1200C Max) OTF-1200X-80-II-F

雙溫區(qū)開啟式真空管式爐 (管徑80mm, 1200C Max) OTF-1200X-80-II-F
  • 雙溫區(qū)開啟式真空管式爐 (管徑80mm, 1200C Max)  OTF-1200X-80-II-F
參考價(jià) 面議
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OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

  OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

  技術(shù)參數(shù)

殼體結(jié)構(gòu)

  • 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于 55oC
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽

功率

 2.5 KW

電壓

 AC 208-240V單相, 50/60 Hz

加熱元件

 Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

 zui高工作溫度

 1200 ℃

 連續(xù)工作溫度

 1100 ℃

zui大升溫速率

 <= 20  ℃ /min

爐管尺寸和材質(zhì)

 石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度

  • 兩個(gè)加熱區(qū):  每個(gè)溫區(qū)200 mm (8")  
  • 總加熱區(qū)長(zhǎng)度400 mm 

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

  150mm  (+/-1oC)

溫度控制器

 

 

 

 

  • 兩個(gè)精密的溫度控制器,單獨(dú)的控制兩個(gè)溫區(qū)
  • PID方式控制,通過(guò)PWM固體繼電器
  • 30 可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)
  • 控溫儀表操作視頻

控溫精度

 +/- 1oC

真空密封系統(tǒng)

 

 

 

 

 

 

 

 

  • 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上有KF-25接口和法蘭上已經(jīng)安裝真空計(jì),閥門
  • 真空度:通過(guò)機(jī)械泵真空度可以達(dá)到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr),如想獲得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以達(dá)到10-5 torr.
  • 泄漏率< 5 m-torr/min.    
  • (法蘭安裝示意圖)

真空泵

 

 采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過(guò)濾器,可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過(guò)濾的zui小微粒直徑為0.3微米。

數(shù)字式真空表

  • 美國(guó)進(jìn)口CVM-211數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上,測(cè)量范圍為10-4Torr~1000Torr (采用皮拉尼式的方法)
  • 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

混氣系統(tǒng)

 

 

 

 

 

  • 3個(gè)浮子流量計(jì)(精確度4%FS)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三種不同氣體。 
  • *路氣體流量范圍為10-100 cc/min.  
  • 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.  
  • 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
  •  一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ,來(lái)監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力    

閥門

四個(gè)不銹鋼閥門安裝移動(dòng)架的側(cè)面板上分別在三個(gè)氣體的入口處

尺寸

 爐子: 550 x 380 x 520 

移動(dòng)架: 600x600x597

 凈重

60KG 

運(yùn)輸重量

600 lbs 

運(yùn)輸包裝尺寸

 Two cases in one pallet:  45x45x35/case

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

 

CE Certificate

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