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迈可诺技术有限公司

主营产品： 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机

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TC-20TC-Wafer校准仪
TC-Wafer校准仪
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号 TC-20
  • 品牌 其他品牌
  • 厂商性质 代理商
  • 所在地 武汉市

更新时间：2025-07-02 13:12:45浏览次数：911

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息，谢谢!

【简单介绍】
应用领域 综合
TC-Wafer校准仪是一款专注晶圆温场均匀性测量的仪器，适配市场上大多数主流厂家生产的RTP设备。
【详细说明】

 TC-Wafer校准仪，是一款专注晶圆温场均匀性测量的仪器。

适配市场上大多数主流厂家生产的RTP设备。
特殊情况可定制以适配。
 产品特点（部分）
1.测温准确 温度偏差在±1.1℃以内、采集周期为200ms，能准确测量晶圆温厂均匀性；
2.使用便捷 仪器集成度高，即插即用。测试记录完整数 据，并能自动生成测试报告，
支持U盘、蓝牙、无线网 络等多种方式导出数据和报告；
3.显示直观 最多支持20路实时测量(20路以上可定制)，显示实时点位图及温度分布图，
可在使用过程中实时观察各点温度变化；
4.功能强大 10000条历史数据存储量，能以图表形式调阅历史温度和均匀性数据。
可做同一台设备不同时间段、以及不同设备同一配方的数据对比；
5.便携易维护 便携一体化设计，配备磁吸支架可贴靠于RTP表面， Type-C接口
65W速充，可迅速更换TC- wafer。
 TC-Wafer校准仪应用功能：
1.半导体制造工艺调校
2.RTP设备的测试、验证
3.TC-Wafer的测试、验证
4.相 关 晶 圆 热 处 理 设 备 的 测 试 、 验 证 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;

5.使用范围：室温~ 1200℃(更高温可定制)

 



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