测量范围(mm)

外形尺寸(mm)

主机重量(Kg)

最大承受重量(Kg)

X

Y

Z

L

W

H

400

300

250

1600

950

1900

410

30

最大空间运动速度

最大空间运动加速度

465mm/s

870mm/s

测量精度

光学一维长度测量误差：EU X/Y(1D)(μm)

1.8+L/200  MPE符合JJF 1318-2011

光学二维长度测量误差：EU XY(2D)(μm)

2.0+L/200 MPE符合JJF 1318-2011

探针Z轴长度测量误差：EU Z (μm)

3.0+L/200  MPE符合JJF 1318-2011

二维探测误差：PF2D(μm)

2.0       MPE符合JJF 1318-2011

影像测头探测误差：PFV2D(μm)

2.0       MPE符合JJF 1318-2011

1

主机及机台

机身主体采用高精密天然花岗岩，具有稳定的温度特性和抗时效变形能力

2

控制系统

AR3网络板，网络接口主板及伺服电机以及驱动做了全方面升级，Z轴带刹车系统，保证机器的平稳安全，定位更准

3

Easson测量软件系统

自动版光学视觉量测软件

4

相机

130万数字高清网络相机

5

光栅尺分辨率

0.01μm绝对光栅

6

导轨

三个轴采用精密级滚珠丝杆导轨，速度有大提升，而且运作平稳

7

电机

直流伺服电机

8

镜头

旗辰Easson自主设计TC精密多段定倍自动变倍自动变焦远心镜头（标配同轴光）实际倍率：30-145×

9

照明系统

5环8区LED冷光源各段独立操控，256级亮度可调

10

品牌电脑

WIN7/WIN10

23.8高清

11

操作方式

摇控手柄、鼠标拖运、程序检测

12

测头

雷尼绍MCP测头座壹个、Φ1、Φ2测针各壹根

房间温度 (温控间)  

18～22°C

温度梯度(时间)

1°C /h

温度梯度(时间)

2°C /24h

温度梯度(空间)

1°C /m

影像仪室湿度要求：

空气相对湿度

40-70％

电源要求：

电压

220V ± 10%

频率

50/60 Hz

震动

15Hz以下＜0.001g

耗电量

1000VA

用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆