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岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司

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EVG光刻機(jī): 掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī) 光刻膠處理系統(tǒng)

EVG鍵合機(jī): 對(duì)準(zhǔn)設(shè)備晶圓鍵合機(jī) 直接鍵合設(shè)備臨時(shí)鍵合/解鍵合金屬鍵合設(shè)備

晶圓關(guān)鍵尺寸測(cè)量

EVG納米壓印機(jī): UV-NIL/SmartNIL紫外壓印納米壓印母版制作系統(tǒng)

膜厚儀: Thetametrisis膜厚儀光學(xué)相干斷層掃描全自動(dòng)同質(zhì)膜厚測(cè)量系統(tǒng) 硬化涂層膜厚儀 Filmetrics膜厚儀

防震臺(tái): Herz TDI氣浮式被動(dòng)防震臺(tái) Herz AVI系列主動(dòng)防震臺(tái) Herz 電鏡隔振臺(tái) DAEIL DVIA-T主動(dòng)防振臺(tái) Stefan Mayer主動(dòng)消磁系統(tǒng)

晶圓厚度測(cè)量: 硅片厚度測(cè)量?jī)x 半自動(dòng)晶圓厚度測(cè)量

應(yīng)力測(cè)量: FSM應(yīng)力儀 ilis應(yīng)力儀

3D形貌儀/白光干涉輪廓儀: 白光干涉儀彩色共聚焦輪廓儀 Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀白光干涉+共聚焦一體機(jī) 晶圓形貌和參數(shù)檢測(cè)

光學(xué)鏡頭對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(定心儀)

片電阻測(cè)量?jī)x: 薄膜電阻測(cè)量?jī)x

晶圓缺陷檢測(cè): 全自動(dòng)AOI系統(tǒng) 雙2D AOI系統(tǒng) LAZIN

等離子去膠: 微波等離子清洗

橢偏儀: FilmSense 橢偏儀

臺(tái)階儀

4D 動(dòng)態(tài)激光干涉儀: PhaseCam 6010 PhaseCam 4030

光學(xué)粗糙度測(cè)試儀

電容式位移傳感器: Microsense 位移傳感器

磁性材料檢測(cè)設(shè)備

全自動(dòng)測(cè)量機(jī)臺(tái)

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ThetaMetrisis
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產(chǎn)品數(shù)：5個(gè)

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DAEIL
產(chǎn)品數(shù)：1個(gè)

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