1.  产品介绍

1.1. 产品概述

超声扫描显微镜（SAT）是一种利用超声波为传播媒介的无损检 测成像设备，能够精准检测出样品内外部的气孔、裂纹、分层、杂物 等缺陷，以图形的方式直观展示,并结合AI 图形算法对其缺陷进行定 性、定量分析，给出最终判断的结果。在扫描过程中，不会对样品造 成损伤，不会影响样品性能，常应用于半导体晶圆片、集成电路芯片、 IGBT 模组、电子封装器件、陶瓷基板、复合材料、新能源电池、焊接 器件等场景的无损检测（NDT）、失效分析（FA）、可靠性分析（RA）、 质量检测（QC）。

1.2. 产品布局

1.3. 产品结构

1.3.1.  正视图

1.3.2.  左视图

2.  功能配置

2.1.   关键配置

2.1.1.  运动控制配置

l 精密工作平台（芯纪源）

l 控制系统（ACS）

l 伺服系统（台达）

l 精密直线电机（芯纪源）

2.1.2.  超声扫描配置

l 超声波收发器（芯纪源）

l 信号放大器（芯纪源）

l 数据采集卡（芯纪源）

l 超声换能器（奥林巴斯）

2.1.3.  计算处理配置

l 工控机（凌华）

l 显示器（AOC 27 寸*2）

l 工作桌（芯纪源）

l 操作软件（芯纪源 UTW Xintech™ V2.0）

?     专用分析软件（芯纪源 根据客户需求定制开发）

2.2.   功能指标

2.2.1.  基础应用

l 扫描成像（杂质颗粒、内部裂纹、分层空洞、焊接等）

l 无损检测（NDT）

l 失效分析（FA）

l 可靠性分析（RA）

l 质量检测（QC）

2.2.2.  扫描模式

l 支持 A-Scan 点扫描

l 支持 B-Scan 纵向扫描

l 支持 C-Scan 横向扫描

l 支持 C+Scan 逐层扫描 (≤300 层）

l 支持 C++Scan 一次多层扫描 (≤50 层）

?     T-Scan 透射扫描（需选配透射接收单元）

?     CT-Scan 同时 C 扫描和 T 扫描（需选配透射接收单元）

2.2.3.  技术指标

l 超声换能器数量：单头（可升级双头）

l 超声波带宽范围：1~400MHz

l 超声换能器适配范围：1~300MHz

l 扫描范围：X 轴 400mm*Y 轴 400mm*Z 轴 120mm

l 重复定位精度：XY 轴±0.5um；Z 轴±2um

l 扫描速度：1250 mm/s

l 典型扫描耗时： ≦25S @【50um/100mm2】

l 图像分辨率： ≧36K*36K pixel；最小精度 1um/pixel

l 采样率：1GHz/S；1.5GHz/S；3GHz/S（可选）

2.3.   软件系统

2.3.1.  操作软件

l 操作系统（Windows 10 中文版）

l 操作软件（芯纪源 UTW Xintech™ V2.0）

l 用户管理功能（可以管理不同用户的登录和操作权限）

l 探头管理功能（可以管理不同型号探头进行更换、编 辑、保存相关参数）

l 自我?；すδ埽ň哂锌砑⒂布晕壹觳?、 自我 校准功能；具有 XYZ 轴限位?；すδ?；具有 Z 轴对焦 限位?；すδ埽苊馓酵酚胙⑸不?；具有故障 提示和告警功能）

l 参数配置功能（可以根据不同样件进行不同参数的设 置、调校、保存、调用等，便于切换和下次调用）

l 探头快捷回位功能（可以根据不同需求，设置和选用 不同的回位方式，方便便捷操作）

l 一键自动校准功能（可自动对检测设备坐标偏移及检 测系统能量变化，校准系统漂移，保证检测结果的准 确性和稳定性）

l 手动扫描功能（可以通过手动方式生成 C 扫描图像， 反映被检样件的内部结构）

l 多模式自动扫描功能（根据不同需要，可以自由采用 不同的扫描模式，包括 A-Scan、B-Scan、C-Scan、

C+Scan、C++Scan、T-Scan、CT-Scan 等）

l 表面跟踪功能（表面跟踪线可以根据需要随意上下， 左右跟随移动，可任意改变跟踪范围；可以改变表面 跟踪线所跟踪的 A-扫描正负波形，解决由于样品不 平造成的图像不准确）

l 文本功能（具备文本记录、添加注释等功能）

l 远程支持功能（具备远程帮助、调试、升级等功能）

l 学习帮助功能（具备引导、学习、查阅、帮助等功能， 帮助用户快速理解、操作使用、学习培训等）

l 不锈钢标准强度（系统自带满足 GBT 11259-2015《超 声波检测用钢对比试块的制作与校验方法》的不锈钢 标准块。认定该不锈钢标准块的超声反射强度=100  STSS【 “STainless Steel Standard ”】，其他所有 材料的检测相对于 STSS 做换算）

l 手动分析功能（可以对生成的 C 扫图片可以进行各种 编辑包括加框确认有效分析区域、测距、修改阈值、 图片剪裁、针对弧面图形进行弧面补偿等）

l 报告自动生成功能（扫描后自动生成扫描分析报告，

报告中包含最终扫描图片、各种扫描参数设置等信息， 可对检测结果自动进行编辑并输出报告文档）

l MES 功能（可通过 MES 系统将扫描的原始图像、渲染  图像、参数配置、分析报告等进行数据上传；也支持  通过 MES 系统中已保存的参数配置进行下发到设备内， 统一管理保证配置一致性）

2.3.2.  专用分析软件

l 图形处理功能（图像的缩放、拖动、测量注释、图像  的滤波、增强、伪彩色，可通过算法增强图像对比度， 提升图像细节显示效果，使图像明暗区域差异更明显 等处理功能）

l 缺陷标记功能（可实现缺陷自动判别，用图像的方式 显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小，并可对分 层缺陷进行实时着色标注）

l 定量测量功能（X -Y 长度测量、厚度与距离测量、缺 陷尺寸和面积计算，对不规则图形的面积百分比统计 分析）

l 缺陷判断功能（可对已标记的缺陷尺寸、面积、数量 进行自动统计和阀值比较运算，直接给出判断结果。 可根据客户的需求提供有偿定制开发服务）

l 声速检测功能（检测声音在被测材质中的飞行速度）

l 图像离线分析功能（可调用和分析过往图像，对生成 的 C 扫图片可以进行各种编辑、包括加框确认有效分 析区域、测距、修改阈值、图片剪裁、针对弧面图形 进行弧面补偿等）

3.  安装要求

3.1.   场地需求

3.1.1.  设备占地空间要求

l 设备安装占地要求： ≧3000mm*1500mm*2000mm

 设备外形尺寸：920mm*990mm*1600mm

 操作工作桌：1500mm*750mm*750mm

 场地维护空间：500mm*500mm

3.1.2.  设备工作场地承重要求

l 场地承重要求： ≧450kg/m2

 设备重量：300kg

3.2.   能源需求

3.2.1.  设备水路要求

l 进出水均预留直径 22mm 管路接头

l 需提供自来水、去离子水、纯净水

l 水温需在 15~30°C

3.2.2.  设备电路要求

l 单相、220V±10% 、50Hz 、16A 三孔插座

3.2.3.  设备气路要求

?     选配升降倾斜治具功能时需要

?     预留直径 8mm 气管接头

?     进气压力 0.3~0.5Mpa 气管接头

3.3.   环境需求

3.3.1.  设备周边环境

l 远离强磁场、电磁波、高频信号等场所

l 远离振动、沙尘、腐蚀性气体

l 环境温度 15~35°C

l 相对湿度≦50%RH