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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>常用儀表>自動化儀表>閥門>V76系列 PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥

V76系列 PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥

參考價 80000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 杭州域勢科技有限公司
  • 品牌 域勢科技
  • 型號 V76系列
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/5/22 11:17:14
  • 訪問次數(shù) 71

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杭州域勢科技有限公司,專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力監(jiān)測控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案,公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌,結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案,旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。

我們代理經(jīng)銷的品牌:ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。

我們的產(chǎn)品:

1.   熱式氣體質(zhì)量流量計及控制器

2.   層流式質(zhì)量流量計及控制器(氣體)

3.   液體質(zhì)量流量計及控制器

4.   壓力控制器、壓力傳感器

5.   真空計及真空閥門

6.   真空配件及Feedthrough

我們服務(wù)的領(lǐng)域:

1.   生物制藥、生命科學(xué)研究

2.   工業(yè)自動化及汽車制造

3.   新能源制造(鋰電、光伏、氫能)

4.   半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體行業(yè)

5.   科研及航天航空研究

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

氣體質(zhì)量流量計,液體質(zhì)量流量計、壓力計,閥門、流量控制解決方案

應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,電氣

PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥(V76系列

V76T-Motion的大型傳輸閥/插入件是為滿足太陽能和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)的特殊要求而開發(fā)的。V76專為高循環(huán)生產(chǎn)系統(tǒng)而開發(fā),在大型傳輸閥(≤2秒,150?mm開口高度)。V76的設(shè)計目標(biāo)是在超過一百萬次循環(huán)的生命周期內(nèi)實(shí)現(xiàn)高正常運(yùn)行時間和可靠運(yùn)行。


V76使用的T-Motion技術(shù)基于模塊化平臺概念,并針對關(guān)鍵的太陽能和顯示應(yīng)用進(jìn)行了全面優(yōu)化:

lPECVD/ETCH:對于這些應(yīng)用,V76版本的閥門上提供了一種特殊的服務(wù)功能,允許在真空下傳輸室保持生產(chǎn)模式的同時,保持工藝室的閘門。這一特性尤為重要,因為在PECVDETCH工藝中,需要頻繁清潔和更換閘門密封。軟移動、雙作用T型運(yùn)動機(jī)構(gòu)沿整個密封表面提供均勻的密封壓力,減少所需的密封載荷,最大限度地減少密封磨損。這降低了閥門壽命期間的FFKM密封成本。

lOLED/PVD和負(fù)載鎖:使用V76的修改版本,使用更大的壓力元件,可以施加全壓差。該版本提供OLED超清潔配置,并為PVD和負(fù)載鎖定應(yīng)用提供高速選項。


V76系列有帶外殼的標(biāo)準(zhǔn)傳輸閥或直接安裝在工藝室中的插入式版本。


V76系列已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)百個太陽能和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)中,證明了其在各個方面的出色性能。


與所有PRECESS輸送閥解決方案一樣,V76大型輸送閥/T-Motion的插入件是根據(jù)客戶的確切規(guī)格量身定制的。這些定制可能包括額外的過程控制單元、特殊的表面處理,如硬質(zhì)陽極氧化鋁或鍍鎳鋁、其他密封材料、檢測閥體壓力的真空計、波紋管保護(hù)的軸饋通、閥門和閘門的射頻和直流接地選項、執(zhí)行器的橫向安裝位置等。


特征

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用(半E21-9E24-92E21.1-1296

l通過使用獲得認(rèn)證的L形運(yùn)動連桿和執(zhí)行器中沒有彈簧的雙換檔,顯著減少了振動,實(shí)現(xiàn)了更快、更平穩(wěn)的執(zhí)行

l機(jī)械鎖處于關(guān)閉位置


優(yōu)點(diǎn)

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器,以防止拆卸時螺栓脫落

l氣動執(zhí)行器雙作用


應(yīng)用

l太陽能、FPD加工

l高運(yùn)行速度下的低沖擊

l位置3允許在對閥門進(jìn)行維護(hù)工作時保持一個腔室處于真空狀態(tài)

lLCD/平板加工


PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥(V76系列

技術(shù)參數(shù)

尺寸


50 x 500 mm, 100 x 1350 mm, 250 x 3850 mm

執(zhí)行器

氣動

雙作用位置指示器

閥體材質(zhì)


鋁或不銹鋼

饋通


軸饋通

標(biāo)準(zhǔn)法蘭


ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS

泄漏率

閥體

< 1 × 10-7 mbar l/s

閥座

< 1 × 10-7 mbar l/s

壓力范圍


1 × 10-7 mbar to 1.2 bar

壓差

閥門:在關(guān)閉方向

≤ 1 bar

插入:在開啟方向

< 30 mbar

At opening

< 3 mbar

循環(huán)至first使用


1000,000

溫度

閥體

≤ 120 °C

閥門

≤ 120 °C

材質(zhì)

閥體、板

EN AW-6061 (3.3211)

AlSI 304 (1.4301)

波紋管

AISI 633(AM350)

密封

閥帽

FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100

閥門

FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100

安裝位置


執(zhí)行器向上或向下

電磁閥


24 VDC PNP

位置指示器:觸點(diǎn)額定

電壓

≤50 VDC

電流

0-80 mA

功率

≤ 10 W

連接器

9針微型D

壓縮空氣連接


快速連接器O.D. 10 mm






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