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INSTEC XYZ模塊化高溫探針臺 HCP1000V-MPS

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廣州領拓(L-Victor)成立于2009年, 是一家致力于材料測試儀器儀表領域,并提供失效分析和可靠性分析整體解決方案的企業(yè)。公司秉承著“以誠信為準,以質量為勝,以客戶*”的經營理念,為客戶提供材料失效分析測試方案、材料物性測試分析方案、材料微觀檢測分析方案、材料測試領域品牌產品設備、材料測試領域的經驗知識共享與交流,以及售前技術咨詢、售中合理化方案和售后標準化服務等一整套完善的服務支持,從而大限度的滿足用戶的需求。

領拓代理的產品有:美國Buehler,美國Wilson,德國Leica,Carbolite*Gero,德國Eltra,德國Retsch,德國Microtrac MRB,加拿大Creaform,德國Memmert,韓國EM科特,荷蘭TQC等品牌,擁有50年以上的生產及應用經驗。

領拓擁有設備齊全的實驗室和強大的應用團隊,應用工程師均為材料科班出身,兼具豐富的實踐經驗,必能為您提供應用解決方案。領拓展示出豐富的技術經驗和可靠的商業(yè)信用,一直在業(yè)界內享有很高的美譽。

領拓業(yè)務立足于華南,發(fā)展到西南,影響著全國??蛻舭ㄊ聵I(yè)單位、科研院校及眾多領域企業(yè),客戶群體涉及的行業(yè)包括鋼鐵、汽車、五金、PCB、電子、塑膠、玻璃、晶體、航天航空、新能源、制藥、電廠等等。

領譽同行,拓展未來——領拓將持續(xù)以雄厚的實力,重信用、守合同、保質量的決心,向廣大客戶提供優(yōu)質的服務和完備的解決方案。
(地址:中國廣州市番禺大道北555號天安科技園總部6號樓)







儀器和消耗品

產地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應用領域 電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,電氣,綜合
特點與優(yōu)勢

  • mimi型溫控探針臺,可集成到各種光學設備

  • 可編程控溫,涵蓋RT~1000℃

  • 適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件

  • 可抽真空的腔體,亦可充入保護氣體使用

  • 獨立的四個探針,可從設備外部移動探針進行點針

  • 可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK

  • 模塊化設計,可自由組合

*可升級為8個獨立探針
*SMA接頭轉BNC四探針,手動點針 *可選三同軸接口
溫控參數


溫度范圍
30℃~1000℃
加熱塊材質
陶瓷
傳感器/溫控方式
最大升溫速率 S / PID控制(含LVDC降噪電源)
最大升溫速率50℃/min
最小溫控速度
±0.1℃/min
溫度分辨率
0.1℃
溫度穩(wěn)定性
±0.5℃
軟件功能
可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線



電學參數

探針
默認為錸鎢材質的彎針探針 
探針座
可從外部XYZ移動的探針臂
點針
從外部移動點針,每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置
探針接口

默認為SMA接頭轉BNC

*可增設腔內接線柱(樣品接電引線)

樣品臺面電位
默認為電接地,可選電懸空(作背電極),可選三同軸接口
光學參數

適用光路
反射光路
窗片
可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離
8/12 mm (可選) *截面圖中WD
上蓋窗片觀察 
窗片范圍φ45mm,最大視角±58°  *截面圖中θ1
負溫下窗片除霜
吹氣除霜管路



結構參數

適用樣品
25 mm*25mm
樣品腔高
4/8 mm (可選)
探針座

可從外部XYZ移動的探針臂

粗調模式+微調模式,XY粗調20mm
XY微調行程10mm,Z微調 3mm

調節(jié)精度
10um
氣氛控制
真空腔,也可充入保護氣體
外殼冷卻
可通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量
300 mm x 300 mm x 40 mm / 5 kg

配置列表

  • 基本配置 真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器

  • 可選配件 安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

其他可選型號

TP102V-MPS
溫度范圍 -40℃ ~ 180℃,樣品區(qū),40mm*40mm
HCP421V-MPS
溫度范圍 -190℃ ~ 400℃,樣品區(qū)Φ26mm
HCP402V-MPS
溫度范圍 -190℃ ~ 400℃,樣品區(qū) 50mm*50mm
HP1000V-MPS
溫度范圍 35℃ ~ 1000℃,樣品區(qū) 25mm*25mm,真空腔室
定制型號
按客戶需求定制,最大適用300mm晶圓樣品





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