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ML2200 全自動ACCRETECH東京精密紅外激光切割機

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真空機、離心機:監(jiān)調(diào)儀;真空系統(tǒng),除塵裝量:數(shù)字粉塵儀;環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備環(huán)境、檢測設(shè)備

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
儀器種類 精密切割機 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合

全自動ACCRETECH東京精密紅外激光切割機

全自動ACCRETECH東京精密紅外激光切割機

可進行非接觸式切割,且不會損傷硅晶圓表面。
支持干式工藝,非常適合處理MEMS器件等不耐加工負荷和水分的器件。
通過根據(jù)硅晶圓厚度調(diào)整加工掃描次數(shù),可支持從薄到厚的廣泛厚度范圍。

通過提高成品率大幅降低成本
縮小劃線寬度有助于大幅提高成品率并降低成本。
以晶圓尺寸為φ200mm、芯片尺寸為1.0mm的小型芯片器件為例,通過將劃線寬度從90μm設(shè)計為20μm,芯片成品率可提高20%以上。

提高生產(chǎn)效率(吞吐量)
采用高剛性平臺,通過高輸出激光組合,可實現(xiàn)800mm/秒以上的高速切割。

豐富的可選設(shè)置
與處理質(zhì)量和生產(chǎn)率相關(guān)的可選功能種類繁多,例如設(shè)備內(nèi)部清潔(100 級)規(guī)格和晶圓厚度測量功能。

干式工藝非常適合切割不耐水的MEMS器件等。
通過縮小切割道寬度,可以提高成品率,從而降低成本。

以存儲器件為代表的超薄切割領(lǐng)域取得了眾多業(yè)績,
可實現(xiàn)低損傷、高彎曲強度、高速切割。

最大晶圓尺寸φ200毫米
處理方法幀處理
X軸發(fā)送速度輸入范圍

0.1至1,100毫米/秒

Y軸解決 0.0002 毫米
定位精度0.002毫米/210毫米以內(nèi)
規(guī)格尺寸(寬 x 深 x 高)1,640毫米×1,340毫米×1,800毫米
重量2,000 公斤






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