CDS化学供液系统（Center Chemical Dispense System）是一种用于生产线24小时不间断供应化学液的系统，广泛应用于半导体、LED、太阳能光伏等行业的湿法设备化学液自动供给。以下是对该系统的介绍：

一、核心功能与应用场景

功能定位：通过自动化控制实现化学液的自动加液、补液、配液及输送，确保生产过程中化学液的精准供应。

典型应用：为光刻显影、晶圆清洗、湿法刻蚀、薄膜制备、化学机械抛光等工艺提供腐蚀性或高纯度化学液支持，覆盖半导体制造、电子元件生产、实验室科研等领域。

二、系统组成与关键组件

供液柜：采用耐酸碱腐蚀材料（如PP、PVDF、PFA）制成全封闭结构，配备抽风系统、泄漏侦测器及防爆设计，确保安全操作。

输送系统：包括耐腐蚀计量泵（如气动隔膜泵）、PFA材质过滤器、除泡器及双套管管道，防止气泡和微粒污染，保障输送精度。

控制系统：由PLC程序控制，支持自动/手动模式切换，接收设备信号后自动启停泵阀，实现无人值守供液。

三、技术特点与优势

安全性：双套管设计可检测内管泄漏，防爆照明和气体侦测器应对易燃溶剂，泄漏侦测器实时报警。

精准性：计量泵和过滤系统确保配比精确，满足温度、浓度、流速等工艺要求。

连续性：通过备用供液桶和自动切换机制，实现24小时不间断供液，避免生产中断。

CDS化学供液系统通过高度自动化的设计，解决了高危险性化学液的安全输送与精准配比问题，是现代工业湿法工艺的核心基础设施。其技术迭代方向包括更智能的物联网监控、更耐腐蚀的材料应用以及更高水平的环保兼容性。