1.基片尺寸：200-300mm（8英寸至12英寸）

2.转速范围：10-6000RPM

3.加速度范围：10-1000RPM/S，可调

4.电机转速稳定性：±1RPM

5.旋涂均匀度：±1%

6.人机界面：8英寸触摸屏

7.通讯接口：USB（标配）/RS485（选配）/蓝牙（标配）

8.调转：支持正反转

9.手写笔：手写BAMBOO电阻笔（标配）

10.真空泵：SC-550V

11.设定数据：无限组数据，每组15个速度（标配）或无限速度（选配）

12.每周期秒数：0-10000s

13.存储数据：无限数据

14.数据保护：默认带掉电?；?/p>

15. 工作电压（旋涂机）：AC100-250V，单相，50/60Hz

16. 工作电压（泵）：AC220V（标准）AC110V（可?。?/p>

17. 抽气速度：≥60L/MIN

18. 真空度可达：-85KPA

19. 噪音等级：≤55db

20. 旋涂机功率：2KW

21. 泵功率：350W

22. 尺寸（旋涂机）：550mm（宽）X550mm（深）X350mm（高）

23. 重量（旋涂机）：50KG

24. 重量（泵）：9KG

25. 相对湿度：< 85%

26. 环境温度：0-40℃

27. 保修：1 年