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單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 安徽科冪儀器有限公司
  • 品牌 科冪儀器
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)望客路科冪園區(qū)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/3/18 10:11:04
  • 訪問次數(shù) 208
產(chǎn)品標(biāo)簽

PE-CVDCVD管式爐管式爐高溫管式爐

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安徽科冪儀器有限公司(Anhui Kemi Instrument Co.,LTD.)成立于2014年,總部設(shè)在安徽省合肥市,擁有近萬(wàn)平方米的研發(fā)制造基地。公司持有A2級(jí)中國(guó)特種設(shè)備(壓力容器制造)生產(chǎn)資格許可證,是一家專注于科研儀器設(shè)備和中小試及產(chǎn)業(yè)化合成反應(yīng)裝備研發(fā)、制造的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。

科冪儀器依托中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)等雄厚的科研力量,研制了多款具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的合成反應(yīng)設(shè)備。技術(shù)驅(qū)動(dòng)、方案營(yíng)銷,專注于非標(biāo)方案的設(shè)計(jì)和多維立體化服務(wù)。產(chǎn)品已成功進(jìn)駐國(guó)內(nèi)所有985、211高校實(shí)驗(yàn)室及新材料、新能源、生物制藥、生態(tài)環(huán)境等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)頭部企業(yè),并遠(yuǎn)銷歐美、澳洲、中東等地,覆蓋國(guó)內(nèi)外科研及企業(yè)客戶20000余家,助推研發(fā)應(yīng)用4000余項(xiàng),助力用戶發(fā)表SCI(一區(qū))論文900余篇。

 

高壓反應(yīng)釜,管式爐,馬弗爐,固定床反應(yīng)裝置,光催化反應(yīng)裝置,其他定制設(shè)備

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 加熱方式 電阻絲
價(jià)格區(qū)間 面議 控溫精度 ±1℃
升溫速度(達(dá)到最高溫) 10℃/min 儀器種類 管式爐
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,制藥/生物制藥 最大功率 3kW
最高溫度 1150℃

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品特點(diǎn):

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源,等離子體更穩(wěn)定;

滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);

可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長(zhǎng)溫度更低。


技術(shù)參數(shù)

型號(hào):TFE - 1200 - 50 - 220

設(shè)計(jì)溫度:1150℃(短期)

額定溫度:1100℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

控制精度:±1℃

爐管尺寸:Φ30/50/60*1200mm

爐膛尺寸:Φ80*220mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度:220mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:80mm

加熱元件:優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲

額定功率:3KW

供氣系統(tǒng):

①三路高精度MFC

②量程0-500sccm(可定制)

射頻電源:

①射頻功率:5-500W;

②射頻頻率:13.56MHz;

③匹配方式:自動(dòng)匹配

真空系統(tǒng):雙級(jí)旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等)

外形尺寸:1250*510*810mm

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)




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