日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机
日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机
中电流离子注入机SOPHI-200/260
中电流离子注入机SOPHI-200/260是一款配备技术的8、6和5英寸离子注入机。我们正在接受抽样。
特征
配备技术的平行束离子注入机。
价格低，运行成本低，
小型、轻量、
超薄晶圆可直接转移。
目的
半导体、电子元件
功率器件薄基板工艺、SiC工艺
研发
规格
| 物品 | 索菲-200 | SOPHI-260 |
| 能量范围 | 3~200keV | 3~260keV |
| 光束平行度 | 0.2°以下 | |
| 均匀性 | 0.5%以下 | |
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