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化工仪器网>产品展厅>实验室常用设备>制样/消解设备>涂覆机>MSC/SC1/SC2 薄膜制备旋涂机

MSC/SC1/SC2 薄膜制备旋涂机

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广州金程科学仪器有限公司是服务于科研事业的实业公司,致力于中试反应釜及其温控系统、实验室仪器设备和消耗品的研发设计、销售、安装调试及售后服务。公司在上为客户提供完整产品配套服务,为客户一站式解决各个方面的产品问题,从通用仪器设备耗材的提供到专业仪器设备的定制,都能通过我们专业的研发与工程技术团队以及完善的供应资源渠道为客户完整解决。公司理念:专业专注,用心服务,致力于服务科研仪器事业;服务范围:中试反应及温控系统,通用仪器设备,分析仪器,玻璃仪器耗材配件。服务领域:生物医药,化学化工,环境工程,检验检测,科研院所。




高压反应釜,玻璃反应釜,连续流反应器,加热制冷装置,真空泵,旋转蒸发仪,生物反应器

产地类别 国产

广州金程科学仪器公司供应的薄膜制备旋涂机,是一种薄膜制备设备,转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。

 

旋涂机原理:

旋涂机 (spin  coater)是一种薄膜制备设备。 在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,在离心力 作用下,使胶液均匀地涂覆在基片表面上形成均 匀的薄膜。广泛应用于微电子、半导体、新能源、 化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片, 基 片 ,ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。

 

旋涂机应用领域:

半导体器件制备: 制备晶体管、太阳能电池、光伏器件等半导体器件的电极、介质和敏感层材料。

 

光电子器件制造: 制备液晶显示器、OLED  显示器、LED 器件等光电子器件的薄膜材料。

 

生物医学传感器制造:生物医学传感器的敏感材料,如蛋白质、 DNA 和细胞等。

 

纳米材料制备:制备纳米粒子、纳米线和纳米薄膜等材料,其制备过程对材料结构和形貌具有一定的控制作用。

 

 

旋涂机特点

◆ 采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。

◆ 7寸全彩中英文互动操作触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可 选配20个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,最多100个阶段。

◆ 内置水平校准装置,最大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。

◆ 多重安全保护

电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;

盖子自锁功能,防止飞片盖zi弹开伤人;

双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,最大限度保证实验人员安全。

◆ 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全?;?,有效降低电机进胶的风险。

◆ 一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。

◆ 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计,取放样品更方便。

◆ 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用PTFE 材料。旋涂托盘采用聚丙烯 (NPP-H)  材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。

◆ 上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带废胶收集装置。

◆ 可选氮气吹扫、氮气?;ぃ远谓夯蚣蛞椎谓鹤爸?,提供更多的操作便利性。

◆ 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等多种材料。

 

薄膜制备旋涂机


旋涂机技术参数

 

型号

MSC

SC1

SC2

转速

0-10000rpm

0-10000rpm

0-10000rpm

加速度

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

转速稳定度

±1%

±1%

±1%

匀胶时间

0-9999s

0-9999s

0-9999s

工作舱直径

直径180mm

直径180mm

直径240mm

基片尺寸

圆片φ≤6时,方片最大

105x105mm

圆片φ≤6时,方片最大

105x105mm

圆片φ≤8时,方片最大 140x140mm

外型尺寸

L245xW325xH215mm

L245xW325xH285mm

L305xW385xH285mm

包装尺寸

L365xW445xH335mm

1365xW445xH405mm

L425xW505xH405mm

整机重量

6.3Kg

7.6Kg

11.6Kg

 

 

薄膜制备旋涂机信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。

 

 


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