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单腔体脉冲激光沉积系统

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北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队,专精的服务,提供理想的解决方案。

我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向,用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流,打消顾虑,彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。

北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。

客户至上的服务理念,以人为本的企业文化,我们始终为用户提供专业的服务!

合作丨共赢,选择我们,选择未来!

 

半导体材料分析,材料刻蚀

价格区间 10万-50万 应用领域 化工,石油,道路/轨道/船舶,制药/生物制药,综合
腔体尺寸 圆柱形腔体,直径:400 mm 样品尺寸 1 英寸或 2 英寸向下兼容
样品加热 辐射式加热 / 电阻式加热 / 激光加热 1000 ℃ / 900 ℃ / 1200 ℃ 靶台操控 4 靶位,1 英寸靶托,公自转设计
抽气泵组 进口:Pfeiffer分子泵,355 l/s Leybold干泵,14.5 m3/h 真空测量 进口:Inficon MPG400复合规 + CDG025D薄膜规
气路 进口:质量流量计MKS,50 / 100 sccm 控压方式 手动角阀/漏阀控压
极限真空 5 x 10-8 mbar 光路支架 根据用户现场情况定制
软件控制 动作程序控制,软件编程控制工艺,设备全套互锁

单腔体脉冲激光沉积系统是一种先进的材料制备技术,它利用脉冲激光的高能量密度来蒸发和电离靶材上的物质,并在基底上沉积形成各种物质薄膜。这种系统通常包括一个沉积室,其中激光聚焦于靶材上的一个小面积,使其材料蒸发或电离并向基底运动?;淄ǔ13衷诮系偷奈露?,以便在沉积过程中形成高质量的薄膜。

单腔体脉冲激光 沉积系统的主要特点包括:

1. 高沉积速率:由于激光的高能量密度,靶材上的物质可以迅速蒸发和沉积到基底上,从而实现较高的沉积速率。

2. 精确控制:系统可以精确控制激光的脉冲能量、频率和持续时间,从而实现对薄膜厚度和沉积速率的精确控制。

3. 灵活性和多样性:该系统可以制备多种不同类型的薄膜,包括金属、氧化物、氮化物等。此外,通过调节工艺参数,还可以制备出具有不同结构和性能的薄膜。

4. 高质量薄膜:由于激光的高能量密度和精确控制,该系统可以制备出高质量、均匀且致密的薄膜,适用于各种应用。

单腔体脉冲激光 沉积系统广泛应用于材料科学、物理学、化学和工程学等领域,用于制备各种功能薄膜,如光学薄膜、电子薄膜、超导薄膜等。此外,该系统还用于研究薄膜的生长机制、晶体结构、表面形貌和性能等方面。

需要注意的是,单腔体脉冲激光沉积系统的使用需要一定的专业知识和经验。在操作过程中,需要严格控制激光参数、基底温度、气氛等条件,以确保制备出高质量的薄膜。此外,该系统还需要定期维护和清洁,以保持其性能和稳定性。

总之,单腔体脉冲激光沉积 系统是一种重要的材料制备技术,具有广泛的应用前景和重要的科学价值。随着技术的不断发展和完善,它将在材料科学、物理学、化学和工程学等领域发挥越来越重要的作用。




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