MEB-600/800 热阻/电子束蒸发镀膜机设备
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- 公司名称 北京中科复华科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 MEB-600/800
- 产地 北京
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2024/4/7 9:50:58
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产品标签
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应用方向：科研与教学
产品优势：多功能，电子枪+热阻蒸发，膜厚监控
产品配置：
★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）
★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体：高真空系统。
★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋转，转速可调
★加热：常规加热
★电子枪：E型，带XY偏转扫描
★电子枪坩埚：6穴，17cc
★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制
★清洗功能：可选配离子源清洗
★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤
★检测与控制光学特性功能：可选配光控仪
★操作模式：全自动+半自动控制
类似产品： 大样片蒸发镀膜（MEB-800）
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