SPB5/plus RIE反應(yīng)離子刻蝕機
- 公司名稱 華儀行(北京)科技有限公司
- 品牌 CIF
- 型號 SPB5/plus
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/4/28 9:16:27
- 訪問次數(shù) 1813
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半導(dǎo)體領(lǐng)域儀器設(shè)備:等離子清洗機、紫外臭氧清洗機、勻膠機、烤膠機等。 理化實驗室儀器設(shè)備:酸蒸逆流清洗器、真空趕酸系統(tǒng)、酸純化器、智能消解儀、恒溫電熱板等
RIE反應(yīng)離子刻蝕機主要用于微電子芯片、太陽能電池、生物芯片、顯示器、光學(xué)、通訊等領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造。
產(chǎn)品特點
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。
◆ PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。
◆ 真空艙體、全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。
◆ 采用防腐數(shù)字流量計, 實現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng), 可選多氣路氣體輸送系統(tǒng), 可輸入氧氣、氬氣、 氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣等氣體。
◆ 采用花灑式多孔進氣方式,改變單孔進氣不均勻問題。
◆ HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
◆ 符合人體功能學(xué)的 60 度傾角操作界面設(shè)計,操作方便,界面友好。
◆ 采用頂置真空艙,上開蓋設(shè)計,下壓式鉸鏈開關(guān)方式。
◆ 上置式 360 度水平取放樣品設(shè)計,符合人體功能學(xué),操作更方便。
◆ 有效處理面積大,可處理最大直徑 154mm 晶元硅片。
◆ 安全保護,艙門打開,自動關(guān)閉電源,機器運行、停止提示。