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Laurell WS-650 勻膠旋涂儀

參考價 80000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司深耕科學(xué)儀器與精密測試設(shè)備領(lǐng)域,作為專業(yè)服務(wù)商,我們整合了多種優(yōu)質(zhì)技術(shù)資源,為科研創(chuàng)新、工業(yè)制造及質(zhì)量管控領(lǐng)域提供高價值解決方案。作為國內(nèi)外多個品牌的合作伙伴,公司構(gòu)建了涵蓋電化學(xué)分析、膜厚與表面輪廓檢測、電學(xué)測量、力學(xué)測量等領(lǐng)域的多元化產(chǎn)品體系,致力于以精準(zhǔn)數(shù)據(jù)驅(qū)動行業(yè)升級。

在電化學(xué)領(lǐng)域,我們提供從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的先進(jìn)設(shè)備,覆蓋電池性能評估、電催化研究、腐蝕監(jiān)測等場景;膜厚及表面輪廓測試產(chǎn)品線以納米級精度賦能半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、新能源材料等行業(yè)的工藝優(yōu)化;電學(xué)儀表系列聚焦電子元器件檢測及實(shí)驗室標(biāo)準(zhǔn)化需求,確保測量精度與效率雙提升;力學(xué)測量解決方案則專注于材料強(qiáng)度測試,為金屬、陶瓷、復(fù)合材料及柔性電子等領(lǐng)域提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。

依托成熟的服務(wù)體系、我們幫助客戶實(shí)現(xiàn)技術(shù)工具與業(yè)務(wù)場景的深度融合。未來,公司將持續(xù)拓展技術(shù)邊界,以創(chuàng)新為引擎,推動檢測技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展的協(xié)同共進(jìn),助力客戶在全球競爭中贏得先機(jī)。




臺階儀,光學(xué)輪廓儀,電化學(xué)工作站,納米壓痕儀,力電聯(lián)測材料試驗機(jī),介電溫譜測量系統(tǒng),電阻測試儀,原子力顯微鏡,光學(xué)顯微鏡

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

勻膠旋涂儀WS-650在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上,旋轉(zhuǎn)速度及時間、膠液和基片間的粘滯系數(shù)都會影響成膜厚度,旋轉(zhuǎn)過程及轉(zhuǎn)動系統(tǒng)的穩(wěn)定性對成膜質(zhì)量也有較大影響。



1.樣品尺寸:φ3~300mm

2.加速度:80000rpm/s(空載),30000rpm/s(負(fù)載:100mm標(biāo)準(zhǔn)晶圓)

3.轉(zhuǎn)速:1~12000rpm,伺服電機(jī)分辨率4000P/rev

4.旋轉(zhuǎn)方向:選配Hz型馬達(dá),旋轉(zhuǎn)方向雙向可調(diào)

5.CDA/N2氣流保護(hù)技術(shù)

6.可選自動滴膠模塊,EBR晶圓去邊模塊

7.多種托盤可選,適用各種材質(zhì)的樣品



勻膠旋涂儀托盤解決方案

1.常用真空托盤:10~150mm無需更換。

2.嵌入式:托盤中部做成圓形凹槽,樣品可嵌入其中,以避免樣品厚度過大引起氣體渦流效應(yīng)。

3.蜂窩式:適用于超薄易變形軟質(zhì)材料和易碎材料。

4.卡式托盤:適用于無法真空吸附的樣品,或者兩面都需要處理的樣品,因為固定時需要盡量減小與托盤的接觸面積,也可以使用卡式托盤,卡式托盤使用時轉(zhuǎn)速不宜過高。


勻膠旋涂儀




 

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