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串集多腔鍍膜設備

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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導體材料研究分析設備的研發(fā)和應用。專業(yè)的團隊,專精的服務,提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導體材料研究與分析設備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導向,用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術工程師和科研工作者進行現(xiàn)場演示和技術交流,打消顧慮,彼此協(xié)作,為我國的科研領域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應多種分子材料的研究分析設備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應耦合等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機、等離子清洗機、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學顯微鏡以及實驗室設備儀器。

客戶至上的服務理念,以人為本的企業(yè)文化,我們始終為用戶提供專業(yè)的服務!

合作丨共贏,選擇我們,選擇未來!

 

半導體材料分析,材料刻蝕

應用領域 環(huán)保,化工,電子/電池

串集多腔鍍膜設備是一組真空腔系統(tǒng),這些真空腔系統(tǒng)通過位於系統(tǒng)中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環(huán)境下連續(xù)進行。所有這些過程使外部環(huán)境的影響最小化,以防止在沉積的過程中基板表面氧化,並為元件製造提供了最大效率。

Syskey可根據(jù)客戶要求提供多腔體鍍膜系統(tǒng)。 我們的系統(tǒng)通常包含濺鍍、蝕刻、PECVD、熱蒸發(fā)、ALD、退火、電漿清洗和冷卻系統(tǒng),這些系統(tǒng)可用於FPD、電子行業(yè)、太陽能電池和半導體行業(yè)。

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串集多腔鍍膜設備參數(shù)

應用領域腔體
  • 半導體行業(yè)。

  • 太陽能電池。

  • LED。

  • 有機發(fā)光二極體。

  • 有機光伏打電池。

  • 平板顯示器。

  • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和應用。

  • 帶有機械手臂的鋁製腔體,用於在腔體之間的傳送。



選件

  • 濺鍍。

  • PECVD。

  • 乾蝕刻。

  • ALD/ PEALD。

  • 電漿清洗。

  • 熱退火。

  • 電子束蒸發(fā)。

  • 熱蒸鍍




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