微纳米压痕仪主要功能：

连续刚度测量（CSM）

CSM技术包括在压痕过程中测量力学性能随深度、力、时间或频率变化的函数。该方案采用恒定应变速率试验，测量硬度和模量作为深度或载荷的函数，是学术界和工业界常用的试验方法。CSM还用于其他高级测试，包括用于存储和损耗模量测量的ProbeDMA™方法和AccuFilm™基底立测量。CSM集成在控制器和InView软件中，以保证数据质量。

NanoBlitz3D

NanoBlitz 3D利用Inforce 50加载器采用玻氏压头测量高E（>3Gpa）材料的三维测量图。NanoBlitz压痕小于1个点/ s，可达10万个压痕（300x300阵列），并提供每个压痕在载荷下的杨氏模量、硬度和刚度，大量的测试提高了统计的准确性。NanoBlitz 3D还提供可视化软件和数据处理功能。

AccuFilm™薄膜方法包

AccuFilm™薄膜方法包是一种基于Hay-Crawford模型的全新测试方法，使用连续刚度测量（CSM）测量基底材料的立特性。AccuFilm™修正了基底对软基板上硬薄膜以及硬基底上软薄膜测量的影响。

ProbeDMA™聚合物方法包

聚合物包可以测量聚合物的模量对频率的函数。该测试包括平冲头、粘弹性参考材料和评价粘弹性性能的试验方法。这种测量技术是表征纳米聚合物和聚合物薄膜的关键技术，而传统的DMA测试仪器无法很好地测试这些薄膜。

划痕磨损试验功能

划痕试验在以规定速度穿过样品表面时，向压头施加恒定或倾斜载荷。划痕试验可以表征许多材料系统，如薄膜、易碎陶瓷和聚合物。

DataBurst

DataBurst集成InView软件和InQuest控制器系统，采用大于1kHz的速率记录位移数据，以测量高应变跳跃载荷的突变实验。特别适用于瞬间断裂、压爆瞬间采集大量数据的测试实验。

Gemini 2D多轴传感器

Gemini 2D 多轴技术将相同的标准压痕功能带到第二个横轴上，同时沿两个方向轴运行。该专用技术有助于深入了解材料特性和失效机制，可以测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切等参数。

微纳米压痕仪技术特点：

KLA InSEM HT产品：先进的激发器的结构设计，*实现载荷和位移的分别控制和探测，压头跟针尖分别加热，实现高温纳米压痕检测，包括动态力学测试、软材料测试、及薄膜测试等等。

符合ISO14577的国际标准的压痕测试

NanoFlip动态测试附件是由连续刚度专用技术的发明人研发的：动态力 学测试原理为在准静态加载过程中，施加在压头上一个正玄波，从而表征出随着压痕深度、载荷、时间或者频率的变化材料力学性能的变化。

NanoBlitz3D技术，提供每个压痕在载荷下的杨氏模量、硬度和刚度，大量的测试提高了统计的准确性，自动生成杨氏模量、硬度和刚度Mapping图，是研究非均相材料研究的重要方法。

硬度和模量测量(Oliver-Pharr)

InSEM HT纳米压痕测量各种材料的硬度和模量，从超软凝胶到硬涂层。

连续刚度测试（CSM）

连续刚度测量用于量化动态材料特性，如应变率和频率诱导效应。InSEM HT纳米压头提供从0.1Hz到1kHz的动态频率，根据深度或频率连续测量接触刚度。

高速材料性能Mapping（3D/4D）

对于复合材料，不同区域的力学性能差异很大。InSEM HT在X轴和Y轴上提供21mm的样品台移动，在Z轴上提供25mm的样品台移动，允许在样品区域上测试大范围高度变化的样品。地形和断层扫描软件可以快速生成任何测量机械性能的彩色谱图。

纳米动态力学分析

聚合物是非常复杂的材料。为了获得聚合物的有用信息，应在相关背景下对相关样品进行机械性能测量。纳米压痕测试使这种测量变得更容易，因为样品可以很小，并且制备所需要的量少。纳米压痕系统可以通过振荡压头与材料接触的方式来测量聚合物的复合模量和粘弹性性能。

定量划痕磨损测试

InSEM HT可以对各种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经过许多加工过程，例如化学和机械抛光（CMP）和金属丝粘合，以测试这些薄膜的强度和它们在基底上的粘附力。对于这些材料来说，在这些过程中抵抗塑性变形并保持完整而不起泡是非常重要的。

高温试验

许多工业领域的材料研究不仅关注常温下机械应力的性能，而且还关注热应力下的性能。InSEM HT专为先进技术应用（如航空航天、汽车和军事/国防）中的下一代材料测试而设计。

蠕变测量

由于施加的载荷和高温，材料会发生变形。蠕变是机械应力和热应力共同作用下的应变超时测量，蠕变行为对汽车和航空航天系统的有效设计至关重要。嵌入式热处理可使温度升高至800°C，同时监测材料应变。

应变率灵敏度

应变率灵敏度使应变量化成为各种加载条件的函数。例如，如果样品受到的应力更慢，在短时间内对材料施加机械/热应力可能会产生不同的应变结果。InSEM HT允许用户测量达800°C的加载条件下的应变灵敏度。

相关文献  

1.StrainRateSensitivityofThinMetalFilmsbyInstrumentedIndentation  

2.E?ectofAnnealingon50nmGoldFilms