NanoSystem NSM-5060P 非接触式3D表面测量系统
- 公司名称 杭州雷迈科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 NanoSystem NSM-5060P
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2022/3/12 9:58:14
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产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,航空航天,汽车及零部件 |
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NanoSystem NSM-5060P非接触式3D表面测量系统
产品描述
NanoSystem NSM-5060P非接触式3D表面测量系统用于PCB基板表面形貌的测量。
基板上的Via Hole,Pad形状,pattern形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。
在高速测量下仍具有优秀的重复性和准确性,支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。
产品规格
测量方式:非接触式白光干涉
垂直扫描速度:6.0μm/Sec
垂直扫描范围:270μm
垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm PSI: <0.1nm
台阶高度重复性:﹤0.1% @ (1σ)
照明光源:LED illunination
换镜转盘:电动
相机:640x480
FOV镜头:x0.55,x0.75,x1.0, x1.5, and x2.0
干涉物镜:x2.5,x5,x10,x20,x50
物镜:x5,x10
横向分辨率:0.45-2.6um(取决于物镜和FOV)
XY stage:XY Stroke:630x630mm
Z Stage: 50mm
工作台面:610X610mm (程控)
尺寸:1300(w)X1400(D)X2100(H)
重量:2200Kg
应用领域
Nano View系列为LCD(液晶显示器)、IC Package(芯片封装)、Substrate(基板)、Build-up PCB(积层板)、MEMS(微机电系统),Engineering Surfaces(工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。包括:PostSpacer,RGB,Charater,Back Pannel,Spray PR,Roughness,VIA hole,Cu Thickness,Cu Pad,Line Profile,Fiber,Array,Semiconductor,MENS,Abraslon,BGA.
ISO 25178 · 4287 国际规格标准化数据
按照ISO国际标准机构规定的规格,以图表、表格、2D•3D图像的形式大面积显示粗糙度、高度及幅度等各类数据。
图形的粗糙度评价Roughness evaluation of images
Nano System利用从ISO、ASME、EUR等多家国际标准机构获得的30多个粗糙度参数来评估Sample的粗糙度。
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