ZT-60-15立式化学气相沉积炉
- 公司名称 厦门地坤科技有限公司
- 品牌 厦门地坤
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2021/10/29 12:09:02
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| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 综合 |
|---|
ZT-60-15立式化学气相沉积炉
ZT-145-15立式化学气相沉积炉
ZT-220-15立式化学气相沉积炉
ZT-270-15立式化学气相沉积炉
ZT-550-15立式化学气相沉积炉
一、设备用途：
化学气相沉积炉主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制备。
二、设备特点：
1、立式结构，炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。
2、双层炉壳结构，内层不锈钢，外层为碳钢，中间通水冷却。石墨碳棒加热体，石墨碳毡保温层保温效果好。
3、控制方式为PLC加触摸屏方式，有手动及自动控制切换。自动化程度高，操作方便。
4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌，性能稳定、可靠。
5、配备出、装料料车，方便操作及出装料，提高工作效率。
ZT-60-15立式化学气相沉积炉三、主要技术参数：
No.型号工作区尺寸（?XH）mm高温度 (℃)真空度 (Pa)压升率
(Pa/h)温度均匀性(℃)功率（KW）
1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060
2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145
3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220
4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275
5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550
注：炉膛尺寸可按您的要求定做
HZT-100-15卧式化学气相沉积炉
HZT-145-15卧式化学气相沉积炉
HZT-145-15卧式化学气相沉积炉
HZT-360-15卧式化学气相沉积炉
一、设备用途：
化学气相沉积炉主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制备。
二、设备特点：
1、卧式结构，双炉门结构，炉门启闭采用气动方式。
2、双层炉壳结构，内层不锈钢，外层为碳钢，中间通水冷却。石墨碳棒加热体，石墨碳毡保温层保温效果好。
3、控制方式为PLC加触摸屏方式，有手动及自动控制切换。自动化程度高，操作方便。
4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌，性能稳定、可靠。
5、配备出、装料料车，方便操作及出装料，提高工作效率。
三、主要技术参数：
No. | 型号 | 工作区尺 （WXHXL）mm | 高温度 (℃) | 真空度 (Pa) | 压升率 (Pa/h) | 温度均匀性 (℃) | 功率 （KW） |
1 | HZT-100-15 | 400X400X600 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 100 |
2 | HZT-145-15 | 500X500X750 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 145 |
3 | HZT-145-15 | 600X600X900 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 190 |
4 | HZT-360-15 | 700X700X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 360 |
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