样品自动移动到成像?？椋ü庋掷腔蛟恿ο晕⒕担梢源唇ㄒ桓鐾暾幕鄣娜枷?。光学轮廓仪为白光干涉和激光共聚焦显微镜相结合。这种组合可以测量钢刮坡，透明涂料（玻璃等），可测量表面粗糙度，划痕体积、涂层失效等。用于亚纳米分辨率 。

v> 功能全面：拥有超高的精度，可用 于测量薄膜、涂层或基体材料的机 械性能?？刹饬考负跛欣嘈筒牧?的硬度、弹性模量、蠕变、疲劳等 特性。采用压电陶瓷驱动和电容式 传感技术，SMT可从纳米到微米范 围内定量测量表面性能。

v> 主要特点： 可更换?？?具有电容传感器技术 玻氏压头、维氏压头、球形压头、 立方体晶棱压头、努氏压头等 处理大型和重型负载样品（50 厘 米；10公斤） 自动检测三维形貌 小型纳米压痕仪 主动式隔震平台 纳米压痕单一应用

v> 符合国际测试标准： ASTM E2546, ASTM B933, ASTM D785, ASTM E140 ISO 14577, ISO 6508, ISO 6507, ISO 4516 DIN 50359, DIN 55676 JIS B7734等

适用领域：航空航天、汽车、半导 体、生物医学、光学材料、硬质涂 层等